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龙图腾网恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利一种用于离子注入装载鼓的扣合机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600907U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420377255.9，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型一种用于离子注入装载鼓的扣合机构是由李烨;林家杰;张翰林设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于离子注入装载鼓的扣合机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种用于离子注入装载鼓的扣合机构，其包括支承装配组件、转接导向组件、遮护罩盖组件、扣合锁紧组件、缓冲配接组件及真空连通组件，该扣合机构在扣合凸缘表面嵌设有密封环圈，这个密封环圈可以有效地防止气体或液体从扣合凸缘与装载鼓的接合部位泄漏，通过紧密贴合在装载鼓的边缘，确保接合部位的密封性，当锁紧栓头抵合在装载鼓外壁时，会施加一定的压力，使扣合凸缘与装载鼓更加紧密地贴合，进一步增强了密封效果，这种压力均衡地作用在密封环圈上，可确保密封状态的稳定性，缓冲油缸的设计使得活塞杆末端与装载鼓内壁抵合时，能够施加缓冲力，维持密封状态的平衡，有利于保证离子注入质量，提升集成电路成品的性能。

本实用新型一种用于离子注入装载鼓的扣合机构在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入装载鼓的扣合机构，其特征在于，包括：支承装配组件，该支承装配组件中具有安装空间，其与升降机构配合，升降机构可携带支承装配组件上升或下降；转接导向组件，该转接导向组件安装于支承装配组件中，可随支承装配组件一同上升或下降，其与导向座架配合，由转接导向组件对支承装配组件的上升或下降过程进行导向；遮护罩盖组件，该遮护罩盖组件安装于支承装配组件中，可随支承装配组件一同上升或下降，其与装载鼓形状适配，可与装载鼓扣合，对装载鼓进行遮罩；扣合锁紧组件，该扣合锁紧组件通过活动连接结构安装于遮护罩盖组件中，可随遮护罩盖组件一同上升或下降，其与装载鼓形状适配，由扣合锁紧组件对装载鼓与遮护罩盖组件进行锁紧；缓冲配接组件，该缓冲配接组件安装于遮护罩盖组件中，可随遮护罩盖组件一同上升或下降，其与装载鼓形状适配，并与扣合锁紧组件位置对应，可对扣合锁紧组件与装载鼓之间的接合部位进行缓冲；真空连通组件，该真空连通组件安装于遮护罩盖组件及支承装配组件中，其与装载鼓及真空系统配合，使装载鼓与遮护罩盖组件之间形成真空状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江中科尚弘离子装备工程有限公司，其通讯地址为：314100 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道嘉年路95号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。