恭喜安徽光智科技有限公司周帅坤获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽光智科技有限公司申请的专利一种低温真空镀膜的载具组件及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222593996U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420359831.7，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种低温真空镀膜的载具组件及镀膜设备是由周帅坤;戴晓雨;陈欢欢;方文德;蔡兴健;韦金超;吴新秀;李行鹏;宋江梦设计研发完成，并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低温真空镀膜的载具组件及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜工艺组件技术领域，公开了一种低温真空镀膜的载具组件及镀膜设备，本实用新型通过在设备冷却壁和载盘之间设置热导软质垫片，能够有效增加设备冷却壁与载盘之间的接触面积，减小了设备冷却壁与载盘之间的热阻，并通过载盘上的导热通孔和热导软质垫片的结构配合，增加载盘与晶圆之间的接触面积，减小载盘与晶圆之间的热阻，从而克服因晶圆、金属载盘和设备冷却壁三者在加工平整度问题而产生的面接触不良的问题，提高了晶圆、金属载盘和设备冷却壁三者在真空条件下的热传导效果。
本实用新型一种低温真空镀膜的载具组件及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种低温真空镀膜的载具组件，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括设备冷却壁和载盘，所述载盘远离所述设备冷却壁的表面贴合有晶圆，其特征在于，载具组件包括：热导软质垫片；所述载盘开设有导热通孔，所述热导软质垫片贴合于所述设备冷却壁和所述载盘之间，且所述热导软质垫片设于所述导热通孔的外表面。
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