恭喜无锡先导智能装备股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡先导智能装备股份有限公司申请的专利清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222600921U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420368449.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型清洗设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种清洗设备,包括水洗槽、慢提拉槽及节水槽,水洗槽用于使用第一液体水洗半导体,慢提拉槽用于通入第二液体以对水洗后的半导体进行慢提拉清洗,第二液体的温度高于第一液体的温度,慢提拉槽设有溢流口,节水槽连通于溢流口及水洗槽,节水槽用于接收溢流口排出的第二液体并将第二液体通入水洗槽,水洗槽还用于使用第二液体水洗半导体。采用本实用新型的方案,能够提高第二液体的利用率,降低半导体清洗的生产成本。
本实用新型清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种清洗设备,其特征在于,包括水洗槽,所述水洗槽用于使用第一液体水洗半导体;慢提拉槽,所述慢提拉槽用于通入第二液体以对水洗后的所述半导体进行慢提拉清洗,所述第二液体的温度高于所述第一液体的温度,所述慢提拉槽设有溢流口;以及,节水槽,所述节水槽连通于所述溢流口及所述水洗槽,所述节水槽用于接收所述溢流口排出的所述第二液体并将所述第二液体通入所述水洗槽,所述水洗槽还用于使用所述第二液体水洗所述半导体。
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