恭喜杭州众硅电子科技有限公司何红秀获国家专利权
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龙图腾网恭喜杭州众硅电子科技有限公司申请的专利一种晶圆抛光系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222589258U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420225622.3，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种晶圆抛光系统是由何红秀;吴靖宇设计研发完成，并于2024-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抛光系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆抛光系统，至少包括带有抛光垫的抛光台，用于带动晶圆相对抛光台活动的抛光头，及用于向抛光台输送抛光液的抛光液臂，所述抛光台所在空间设有雾化喷头，该雾化喷头向抛光垫所在区域喷射液体，以在抛光垫上形成润湿区域。本实用新型通过雾化喷头的方式实现抛光垫的雾化润湿，雾化喷头的喷射覆盖范围大，同时耗水量小，能以最小的成本实现雾化功能；在不增加新水源和新控制结构的前提下实现雾化，不会对晶圆抛光系统本身的工作产生影响；雾化喷头可以灵活在工作状态和关闭状态之间切换，也可以随时拆装，可灵活应用于不同抛光工艺，使用灵活度高。
本实用新型一种晶圆抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抛光系统，至少包括带有抛光垫的抛光台，用于带动晶圆相对抛光台活动的抛光头，及用于向抛光台输送抛光液的抛光液臂，其特征在于：所述抛光台所在空间设有雾化喷头，该雾化喷头向抛光垫所在区域喷射液体，以在抛光垫上形成润湿区域。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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