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龙图腾网恭喜上海稷以科技有限公司申请的专利一种堆叠式多晶圆存储及传送机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600939U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420219647.2，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种堆叠式多晶圆存储及传送机构是由杨平设计研发完成，并于2024-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种堆叠式多晶圆存储及传送机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种堆叠式多晶圆存储及传送机构，包括驱动装置、机械手臂、传送腔室、工艺腔体、LoadLock模块和晶圆，驱动装置与机械手臂控制连接，机械手臂置于传送腔室内，传送腔室与至少一个工艺腔体通过传送通道连接，传送腔室与LoadLock模块连接；机械手臂控制晶圆在工艺腔体与LoadLock模块之间传送。在本申请中,通过重新布局进行堆叠设计的LoadLock模块，将原本单层排设的LoadLock模块变为双层堆叠式的LoadLock模块，能有效节省机械手臂在进行晶圆传送工作时的等待时间，缩短了晶圆的整体传送时间，以提高晶圆的生产效率。

本实用新型一种堆叠式多晶圆存储及传送机构在权利要求书中公布了：1.一种堆叠式多晶圆存储及传送机构，其特征在于，包括驱动装置、机械手臂1、传送腔室2、工艺腔体3、LoadLock模块4和晶圆5，所述驱动装置与所述机械手臂1控制连接，所述机械手臂1置于所述传送腔室2内，所述传送腔室2与至少一个所述工艺腔体3通过传送通道6连接，所述传送腔室2与所述LoadLock模块4连接；所述机械手臂1控制所述晶圆5在所述工艺腔体3与LoadLock模块4之间传送；所述LoadLock模块4包括多层堆叠设置的LoadLock组件，所述LoadLock组件由多个LoadLock单元组成，各所述LoadLock单元均包括LoadLock门阀7、LoadLock腔室8和LoadLock通道9，所述LoadLock腔室8通过所述LoadLock通道9与所述传送腔室2连接，所述LoadLock腔室8的开口处设有所述LoadLock门阀7。

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