恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司张海龙获国家专利权
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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222594077U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323555882.1，技术领域涉及：C30B25/10；该实用新型一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备是由张海龙;焦文鸿;姜勇;徐义设计研发完成，并于2023-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备，其中所述晶圆加热组件包括：反射灯座；所述反射灯座的灯座本体沿周向分成至少2个区域；在每个区域内沿所述灯座本体的径向由灯座本体的边缘到中心设置有第一反射凹槽、第二反射凹槽……第i反射凹槽；所述相邻区域内的各个第i反射凹槽的横截面形状不相同，且相邻区域内的各个第i反射凹槽错位设置；每个所述反射凹槽内设置有至少一个加热灯。本实用新型调整了每个第i反射凹槽对红外热辐射的反射方向，实现了对红外热辐射的传输路径的精准控制，进而调节了晶圆表面不同位置的温度，提高了晶圆表面的温度均匀性。
本实用新型一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备在权利要求书中公布了：1.一种反射灯座，其特征在于，包括：灯座本体；所述灯座本体沿周向分成至少2个区域；在每个区域内沿所述灯座本体的径向由灯座本体的边缘到中心设置有第一反射凹槽、第二反射凹槽……第i反射凹槽；相邻所述区域内的各个第i反射凹槽的横截面形状不相同，且相邻区域内的各个第i反射凹槽错位设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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