恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司焦文鸿获国家专利权
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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222602595U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323509009.9，技术领域涉及：H05B3/00；该实用新型用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置是由焦文鸿;尹志尧;独亚平;崔海波设计研发完成，并于2023-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置，所述灯组件包含：反射板，所述反射板包括一中心区，环绕所述中心区且沿所述反射板的周向设置有多个线性灯，每个所述线性灯具有第一端和第二端，靠近所述中心区设置的前一个线性灯的第二端与后一个线性灯的第一端相邻，至少存在多个相邻的线性灯在旋转的晶圆的表面形成的圆环形投影区域部分错开。本实用新型的灯组件的排布增加了工艺过程中可以灵活调控的加热区域数量，保证了工艺过程中晶圆温度分布的均匀性和薄膜沉积的质量，同时，对测温仪进行校正，保证了对晶圆各区域测温结果的可靠性。
本实用新型用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体处理装置的灯组件，所述灯组件用于对旋转的晶圆进行加热，其特征在于，所述灯组件包括：反射板，所述反射板包括一中心区，环绕所述中心区且沿所述反射板的周向设置有多个线性灯，每个所述线性灯具有第一端和第二端，靠近所述中心区设置的前一个线性灯的第二端与后一个线性灯的第一端相邻，至少存在多个相邻的线性灯在旋转的晶圆的表面形成的圆环形投影区域部分错开。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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