恭喜通富微电子股份有限公司季莉莉获国家专利权
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龙图腾网恭喜通富微电子股份有限公司申请的专利一种倒膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222600917U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323396589.5,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种倒膜设备是由季莉莉;李伟设计研发完成,并于2023-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种倒膜设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种倒膜设备,该倒膜装置包括壳体,壳体内部的空腔中设置有真空装置和加热装置,壳体的上表面设置有多个抽气孔以及限位结构,当目标圆片放置在上表面的限位结构中后,真空装置抽取目标圆片与上表面之间的气体,且加热装置对上表面进行加热,上表面的热量传递值目标圆片上,通过给目标圆片加热能够减小目标圆片与附着在其表面上的异常蓝膜之间的粘性,另外真空装置抽取掉目标圆片与上表面之间的气体能够使得目标圆片能够牢固的附着在壳体的上表面,不仅使得异常蓝膜更好的被撕掉,且在撕蓝膜的过程中目标圆片不会发生移位,能够避免目标圆片发生爆边的情况发生。
本实用新型一种倒膜设备在权利要求书中公布了:1.一种倒膜设备(100),其特征在于,包括:壳体(11),内部为一空腔,上表面开设有多个抽气孔(111);限位结构(22),设置在所述壳体(11)的上表面;真空装置(33),设置在所述空腔内,通过管道与所述抽气孔(111)连接;加热装置(44),设置在所述空腔内,与所述上表面连接;当目标圆片(55)放置在所述限位结构(22)中,控制真空装置(33)抽取所述目标圆片(55)与所述上表面之间的气体,并通过所述加热装置(44)对所述上表面加热。
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