恭喜季华实验室曹东豪获国家专利权
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龙图腾网恭喜季华实验室申请的专利一种高精度大尺寸六自由度微动装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116141835B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310337429.9,技术领域涉及:B41J3/407;该发明授权一种高精度大尺寸六自由度微动装置是由曹东豪;朱云龙;周志;李奇;王冠明设计研发完成,并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度大尺寸六自由度微动装置在说明书摘要公布了:本申请属于喷墨打印技术领域,公开了一种高精度大尺寸六自由度微动装置,包括:下固定板;上安装板,用于安装工件放置台;气浮挠性连接单元,连接在上安装板和下固定板之间,并能够相对下固定板沿X轴和Y轴移动;四个水平驱动单元,围绕气浮挠性连接单元呈十字分布,其中两个沿X轴方向对称设置并用于驱动上安装板沿Y轴移动,另外两个沿Y轴方向对称设置并用于驱动上安装板沿X轴移动;至少三个竖直驱动单元,围绕气浮挠性连接单元均匀排布,竖直驱动单元连接在下固定板和上安装板之间,并用于驱动上安装板相对下固定板沿Z轴移动;能够实现三个轴向的位置和三个轴向的转动角度的精确微调,有利于精确调整工件放置台的位置和角度。
本发明授权一种高精度大尺寸六自由度微动装置在权利要求书中公布了:1.一种高精度大尺寸六自由度微动装置,其特征在于,包括:下固定板;上安装板,所述上安装板设置在所述下固定板上方,并用于安装工件放置台;气浮挠性连接单元,所述气浮挠性连接单元上端与所述上安装板固定连接,下端与所述下固定板滑动连接,所述气浮挠性连接单元能够相对所述下固定板沿X轴和Y轴移动;四个水平驱动单元,四个所述水平驱动单元围绕所述气浮挠性连接单元呈十字分布;其中两个所述水平驱动单元沿X轴方向对称地设置在所述气浮挠性连接单元两侧,并用于驱动所述上安装板相对所述下固定板沿Y轴移动;另外两个所述水平驱动单元沿Y轴方向对称地设置在所述气浮挠性连接单元两侧,并用于驱动所述上安装板相对所述下固定板沿X轴移动;至少三个竖直驱动单元,所有所述竖直驱动单元围绕所述气浮挠性连接单元均匀排布,所述竖直驱动单元连接在所述下固定板和所述上安装板之间,并用于驱动所述上安装板相对所述下固定板沿Z轴移动;所述气浮挠性连接单元包括导轨组件、气浮轴和挠性轴承,所述导轨组件下端与所述下固定板的中心固定连接,所述气浮轴的下端与所述导轨组件上端固定连接,所述气浮轴的上端通过所述挠性轴承与所述上安装板连接;所述导轨组件包括沿X轴延伸的X轴导轨和沿Y轴延伸的Y轴导轨,所述X轴导轨和所述Y轴导轨中的一个设置在另一个的下侧并与所述下固定板固定连接;所述气浮轴包括轴套和轴芯,所述轴套包括轴套腔,所述轴芯插入所述轴套腔中,所述轴芯与所述轴套的内壁之间具有气隙;所述轴芯设置有轴芯腔、多个喷气孔和进气孔,所述轴芯腔通过多个所述喷气孔与所述气隙连通,所述进气孔用于向所述轴芯腔输入高压气体。
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