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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115389043B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210923490.7，技术领域涉及：G01K7/02；该发明授权集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器及其制备方法是由余浪;车颜贤;张浩;何峰;杨晓生;周国方设计研发完成，并于2022-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器及其制备方法，该耐高温薄膜传感器包括基底以及其表面设置的高温胶层、Ta2O5薄膜层和SiO2薄膜层，以及第一薄膜热电偶、热电偶堆和应变敏感栅，且表面覆盖有保护层。其制备方法包括：在基底表面制备上述各薄膜层。与常规耐高温薄膜传感器相比，本发明耐高温薄膜传感器，具有更加优异的耐高温性能和结构稳定性，使用寿命更长，测量精度更高，可同时用于测量涡轮叶片在高工作温度、高转速下的工作参数如温度、应变、热流等，使用价值高，应用前景好，其制备方法具有工艺简单、操作方便、制备成本低廉、良品率高等优点，适合于大规模制备，利于工业化应用。

本发明授权集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种集温度、应变和热流测试功能为一体的耐高温薄膜传感器，其特征在于，包括基底，所述基底表面由下至上依次设有高温胶层、Ta2O5薄膜层和SiO2薄膜层；所述SiO2薄膜层上设有多功能复合功能层；所述多功能复合功能层包括用于测量温度的第一薄膜热电偶、用于测量热流的热电偶堆和用于测量应变的应变敏感栅；所述多功能复合功能层上还覆盖有保护层；所述第一薄膜热电偶包括第一正极薄膜和第一负极薄膜，所述第一正极薄膜的一端与所述第一负极薄膜的一端连接形成工作端；所述第一正极薄膜的材质为NiCr合金；所述第一正极薄膜的厚度为600nm～800nm；所述第一负极薄膜的材质为NiSi合金；所述第一负极薄膜的厚度为600nm～800nm；所述热电偶堆包括至少两个串联连接的第二薄膜热电偶，所述第二薄膜热电偶包括第二正极薄膜和第二负极薄膜，所述第二正极薄膜的一端与所述第二负极薄膜的一端连接形成工作端；所述第二正极薄膜的材质为PtRh合金；所述第二正极薄膜的厚度为1μm～5μm；所述第二负极薄膜的材质为Pt；所述第二负极薄膜的厚度为1μm～5μm；所述应变敏感栅的材质为PdCr合金；所述应变敏感栅的厚度为500nm；所述耐高温薄膜传感器还包括设在基底上的第一引线电极、第二引线电极、第三引线电极、第四引线电极、第五引线电极、第六引线电极；所述第一引线电极、第二引线电极、第三引线电极、第四引线电极、第五引线电极、第六引线电极的材质均为Pt；所述第一引线电极、第二引线电极、第三引线电极、第四引线电极、第五引线电极、第六引线电极的厚度均为1μm～1.5μm。

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