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龙图腾网恭喜北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司申请的专利带有外部气体通道插入件的工件处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695056B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111587556.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权带有外部气体通道插入件的工件处理装置是由龙茂林;W·曾设计研发完成，并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本带有外部气体通道插入件的工件处理装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种用于将气体注入处理腔室的气体注入组件。在一些示例中，气体注入组件可以包括用于接收气流的入口。气体注入组件可以包括用于分配自入口接收的气流的多个气体进料口。气体注入组件可以包括竖直布置在气体注入组件内侧的多个子通道，多个子通道包括：上部子通道，用于接收来自入口的气流，并将气流细分至一组孔口，以形成第一气流分支和第二气流分支，第一气流分支对应于通过一组孔口的第一子组的气流的第一部分，并且第二气流分支对应于通过一组孔口的第二子组的气流的第二部分；以及多个出口子通道，用于将气流细分至多个气体进料口。

本发明授权带有外部气体通道插入件的工件处理装置在权利要求书中公布了：1.一种气体注入组件，用于将气体注入处理腔室中，所述气体注入组件包括：入口，用于接收气流；多个气体进料口，用于分配从所述入口接收的所述气流；以及多个子通道，竖直布置在所述气体注入组件的内侧，所述多个子通道包括：上部子通道，用于接收来自所述入口的所述气流，并将所述气流细分至一组孔口，以形成第一气流分支和第二气流分支，所述第一气流分支对应于穿过所述一组孔口的第一子组的所述气流的第一部分，并且所述第二气流分支对应于穿过所述一组孔口的第二子组的所述气流的第二部分；多个出口子通道，用于将所述气流细分至所述多个气体进料口；其中，所述处理腔室的法拉第屏蔽体限定所述气体注入组件的第一部分，所述第一部分包括所述多个子通道；以及所述处理腔室的介电圆顶限定所述气体注入组件的第二部分，所述第二部分包括所述多个气体进料口。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。