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龙图腾网恭喜中电九天智能科技有限公司申请的专利一种基于半导体工艺制程中对非产品片的管控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114400191B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111573005.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种基于半导体工艺制程中对非产品片的管控方法是由初子琦;宋欢;张华;龚志杰;尤小龙;金俊杰设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于半导体工艺制程中对非产品片的管控方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种基于半导体工艺制程中对非产品片的管控方法，在非产品片类型识别模块投入非产品片并判断投入的非产品片类型，非产品片类型包括控制片源片、控制片、炉管控制片、暖机片和挡片；根据获取到的非产品片类型进行对应的工艺流程处理。对控制片源片进行预处理，对控制片进行自动投入或手动投入，对炉管控制片进行绑定处理，对暖机片进行调试处理，对挡片进行填充处理。本发明用于过半导体制造过程中非产品片高效精确管控方法和非产品片自动干预管控生产流程，严格的控制非产品片在工艺生产流程中对产品片的干预，以提高良率和生产效率。

本发明授权一种基于半导体工艺制程中对非产品片的管控方法在权利要求书中公布了：1.一种基于半导体工艺制程中对非产品片的管控方法，其特征在于，包括以下步骤：在非产品片类型识别模块投入非产品片并判断投入的非产品片类型，所述非产品片类型包括控制片源片、控制片、炉管控制片、暖机片和挡片；根据获取到的非产品片类型进行对应的工艺流程处理，对控制片源片进行步骤A操作，对控制片进行步骤B操作，对炉管控制片进行步骤C操作，对暖机片进行步骤D操作，对挡片进行步骤E操作；步骤A.对控制片源片使用机台进行预处理；步骤B.投入控制片的方法包括手动投入和自动投入，根据机台状态判断选择手动投入控制片还是自动投入控制片，当机台设备更改生产工艺参数、超规或保养后，手动投入控制片启动工艺流程；当机台设备周期性监控生产参数时，自动投入控制片启动工艺流程；步骤C.当产品片的工艺流程进行到炉管站点时，使用炉管控制片和产品片进行绑定，并将炉管控制片和产品片一起在炉管设备中进行处理；步骤D.当机台设备需要恢复或调整工作温度以及调整或切换工艺参数组时，使用暖机片进行调试；步骤E.挡片包括填充挡片和边缘挡片，当机台需要满载进行工艺制程时，使用填充挡片填满机台所有空缺槽位；当某些炉管机台进行工艺制程时，控制产品良率时使用边缘挡片填充炉管两端的槽位。

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