恭喜合肥欣奕华智能机器股份有限公司何烽光获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请的专利一种待转移器件的位置识别方法及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114332205B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111525067.3,技术领域涉及:G06T7/70;该发明授权一种待转移器件的位置识别方法及设备是由何烽光;周致远;王文超;冯晓庆;李建中设计研发完成,并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种待转移器件的位置识别方法及设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种待转移器件的位置识别方法及设备;在转移设备的目标基台上承载的Wafer的分布区域中,识别到目标标记区域后,确定目标标记区域对应的标记点的第一目标位置坐标,分布区域为待转移器件在Wafer中的占用区域,基于第一目标位置坐标和标记点对应的第一历史位置坐标,确定坐标转换关系,第一历史位置坐标是基于预先识别的Wafer中各个待转移器件的第二历史位置坐标中的至少一个确定的,第二历史位置坐标是相对辅助设备的位置坐标,且转移设备和辅助设备的坐标系相同;基于坐标转换关系,对Wafer中的各个待转移器件的第二历史位置坐标进行转换,获得各个待转移器件相对转移设备的第二目标位置坐标,缩短识别时间。
本发明授权一种待转移器件的位置识别方法及设备在权利要求书中公布了:1.一种待转移器件的位置识别方法,其特征在于,所述方法包括:在转移设备的目标基台上承载的晶圆Wafer的分布区域中,识别到目标标记区域后,确定所述目标标记区域对应的标记点的第一目标位置坐标,其中,所述分布区域为待转移器件在所述Wafer中的占用区域;对所述分布区域进行划分,获得至少一个子区域;以及,针对任一子区域,在所述子区域中,识别验证区域中包含的各个目标待转移器件对应的第三目标位置坐标,并基于识别的所述各个目标待转移器件的第三目标位置坐标,确定所述各个目标待转移器件之间的目标相对位置;基于所述各个目标待转移器件之间的目标相对位置,与所述各个目标待转移器件之间的历史相对位置,确定偏移量;若确定所述偏移量在误差允许范围内,则基于所述第一目标位置坐标和所述标记点对应的第一历史位置坐标,确定坐标转换关系,其中,所述第一历史位置坐标是,基于预先识别的所述Wafer中各个待转移器件的第二历史位置坐标中,至少一个第二历史位置坐标确定的,所述第二历史位置坐标是相对辅助设备的位置坐标,且所述转移设备和所述辅助设备的坐标系相同;基于所述坐标转换关系,对所述Wafer中的各个待转移器件的第二历史位置坐标进行转换,获得所述各个待转移器件相对所述转移设备的第二目标位置坐标。
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