买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜株式会社三丰申请的专利用于离焦点型工艺的具有投影图案的计量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114440787B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111246621.4，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权用于离焦点型工艺的具有投影图案的计量系统是由S.R.坎贝尔;L.雷德拉斯基设计研发完成，并于2021-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于离焦点型工艺的具有投影图案的计量系统在说明书摘要公布了：提供了一种计量系统，其包括用于离焦点型工艺的投影图案。所述计量系统包括物镜部分、光源、图案投影部分和相机。具有不同放大率和截止频率的不同透镜例如，物镜可以用于所述系统中。所述图案投影部分包括具有图案的图案分量。所述图案的至少大部分区域包括不以规则间隔重复出现在所述图案上的图案部分例如，对应于在所需范围内产生相对平坦的功率谱并且可以与具有不同截止频率的不同透镜一起利用的空间频率的不同频谱。所述图案被投影在工件表面上例如，用于产生对比度，并且获取图像堆栈，从所述图像堆栈确定指示工件表面点的三维位置的聚焦曲线数据。

本发明授权用于离焦点型工艺的具有投影图案的计量系统在权利要求书中公布了：1.一种计量系统，其包含：物镜部分，其包括从一组物镜中选择的物镜，其中所述组中的所述物镜中的每一个具有不同的放大率和截止频率，并且所述计量系统的放大率状态被配置成通过改变包括在所述物镜部分中的所述物镜而改变；光源；图案投影部分，其包含具有图案的图案分量，其中所述图案的至少大部分区域包含多个图案部分，所述多个图案部分不以规则间隔重复出现在所述图案上，其中所述图案部分包含较暗的图案部分和较亮的图案部分，其中所述图案部分包含具有不同大小的图案部分其中所述不同大小的图案部分包含至少第一大小的图案部分、第二大小的图案部分、第三大小的图案部分和第四大小的图案部分，其中所述第二大小的图案部分、所述第三大小的图案部分和所述第四大小的图案部分各自的长度分别为所述第一大小的图案部分的对应长度的至少两倍、三倍或四倍，并且其中来自所述光源的光被配置成朝向所述图案透射以形成图案光，所述图案光透射通过所述物镜以在工件表面上形成投影图案，并且其中所述物镜被配置成输入从包括所述投影图案的所述工件表面产生的图像光并且沿着成像光路透射所述图像光；相机，其被配置成接收沿着所述成像光路透射的图像光，并提供包括所述投影图案的所述工件表面的图像；一个或多个处理器；以及存储器，其耦合到所述一个或多个处理器并且存储程序指令，所述程序指令在由所述一个或多个处理器执行时使所述一个或多个处理器至少：控制所述光源向所述图案透射光以在所述工件表面上形成所述投影图案；利用所述相机获取包含具有所述投影图案的所述工件表面的多个图像的图像堆栈，其中所述图像堆栈的每个图像对应于不同的Z高度；以及至少部分地基于对所述图像堆栈的所述图像的分析确定聚焦曲线数据，其中所述聚焦曲线数据指示所述工件表面上的多个表面点的三维位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社三丰，其通讯地址为：日本神奈川县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。