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龙图腾网恭喜广东汇成真空科技股份有限公司申请的专利一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112853297B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110167096.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机是由李志方;陸创程;魏艳玲设计研发完成，并于2021-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其包括镀膜室和用于支承镀膜室的机架，镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板上、另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道上，固定板的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室外的机架的轨道上。本发明在需要对阴极靶进行保养维修的时候，可把所有的阴极靶组拉出镀膜室，然后分别启动各个阴极靶组对应的旋转电机，把相应的阴极靶转动到合适方位上检修。与现有的镀膜机相比，检修方便，提高了工效，省时省工省力。

本发明授权一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室1和用于支承镀膜室的机架10，所述镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板2上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道35上并可沿轨道移动，固定板2的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室1外的机架10的轨道9上；所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板2上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道35上的结构为：所述每组孪生靶的一端可绕自身轴线回转地通过一绝缘固连的阴极旋转座12支承于固定板2、另一端则通过一阴极尾端支撑板可回转地支承于一平行于孪生靶轴线的阴极支撑座11的尾端，阴极支撑座11的首端则固定于阴极旋转座12上、尾端则通过旋转固定板13固定有水平的尾端旋转轴14的一端，尾端旋转轴14的另一端可回转地支承在一尾端支撑座15上，尾端支撑座15吊在或支承在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道35上，尾端旋转轴14与阴极旋转座12中心同轴线，阴极旋转座12上的阴极孪生靶和阴极支撑座11绕此同轴线一起转动；所述每组孪生靶的一端可绕自身轴线回转地通过一绝缘固连的阴极旋转座12支承于固定板2的结构为：所述固定板2上开有大圆孔，大圆孔内通过滚珠16支承有短管状连接件12-2，短管状连接件12-2的外端面固连有大齿轮、内端面焊接有竖板状的阴极旋转座12，每组孪生靶绝缘固连在阴极旋转座12上，孪生靶的靶头穿过阴极旋转座12上的短管状连接件12-2管孔伸出外侧，固定板2的外侧还固设有旋转电机5，其设有小齿轮33与大齿轮3啮合，阴极旋转座12朝向镀膜室的一面开有密封圈槽12-1装有密封圈。

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