买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜辛耘企业股份有限公司申请的专利晶圆取放装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114765117B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110036758.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆取放装置是由冯传彰设计研发完成，并于2021-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆取放装置在说明书摘要公布了：一种晶圆取放装置，适用于自晶圆运送盒取出晶圆，该晶圆取放装置包含：驱动模块及两个承载臂。所述承载臂彼此相间隔地设于该驱动模块，且可受该驱动模块驱动而在彼此相对远离的初始位置与彼此相对靠近的工作位置之间移动，且能受操作地在该初始位置时伸入该晶圆运送盒，并自该初始位置移动至该工作位置以承载该晶圆。每一承载臂包括臂体及设于臂体的真空吸盘与支撑凸体。借此能降低取片失败及损坏晶圆的机率。

本发明授权晶圆取放装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆取放装置，适用于自晶圆运送盒取出晶圆，其特征在于：该晶圆取放装置包含：驱动模块；及两个承载臂，彼此相间隔地设于该驱动模块，且能受该驱动模块驱动而在彼此相对远离的初始位置与彼此相对靠近的工作位置之间移动，且能受操作地在该初始位置时伸入该晶圆运送盒，并自该初始位置移动至该工作位置承载该晶圆，每一承载臂包括臂体，自该驱动模块沿延伸方向延伸，并具有连接该驱动模块的第一端部、位于该臂体末端的第二端部，及由该第一端部延伸至该第二端部并朝上的上表面，滚轮，该滚轮设于该臂体、凸出该上表面、且能绕平行该延伸方向的轴心转动，用以于该承载臂自该初始位置移动至该工作位置期间，支撑该晶圆并相对于该晶圆滚动，真空吸盘，可浮动地设于该臂体且凸出该上表面并位于靠近该第二端部及该滚轮处，用以在该承载臂位于该工作位置时吸附固定该晶圆，在未受外力作用时该真空吸盘凸出该上表面的高度低于该滚轮，且该真空吸盘能受气流作用浮升以使该真空吸盘凸出该上表面的高度高于该滚轮，及支撑凸体，设于该臂体且凸出该上表面，用以支撑该晶圆。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人辛耘企业股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾台北市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。