恭喜三星显示有限公司成始珍获国家专利权
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龙图腾网恭喜三星显示有限公司申请的专利制造显示设备的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113078187B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011496485.X,技术领域涉及:H10K59/122;该发明授权制造显示设备的方法是由成始珍;金孝珉;朴一秀;兪智娜;韩宗锡设计研发完成,并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本制造显示设备的方法在说明书摘要公布了:公开了一种制造显示设备的方法,该方法包括:在基底上形成像素电极;形成像素限定层,像素限定层至少覆盖像素电极的边缘,并且包括使像素电极的一部分暴露的开口;通过将氧气O2添加到像素电极的被像素限定层中的开口暴露的表面来执行第一干法清洗,其中,以在约1200sccm至约3600sccm的范围内的流速添加氧气O2;在第一干法清洗之后执行第二干法清洗;在第二干法清洗之后在像素电极上形成中间层;以及在中间层和像素限定层上形成对电极。
本发明授权制造显示设备的方法在权利要求书中公布了:1.一种制造显示设备的方法,所述方法包括:在基底上形成像素电极;形成像素限定层,所述像素限定层至少覆盖所述像素电极的边缘,并且包括使所述像素电极的一部分暴露的开口;通过将氧气添加到所述像素电极的被所述像素限定层中的所述开口暴露的表面来执行第一干法清洗,其中,以在1200sccm至3600sccm的范围内的流速添加所述氧气;在所述第一干法清洗之后执行清洗工艺和烘箱工艺;在所述烘箱工艺之后通过将氮气和氧气添加到所述像素电极和所述像素限定层的表面来执行第二干法清洗;在所述第二干法清洗之后在所述像素电极上形成中间层;以及在所述中间层和所述像素限定层上形成对电极。
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