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恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权

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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测方法和检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114199891B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010981796.9,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权一种检测方法和检测设备是由陈鲁;方一;黄有为;魏林鹏设计研发完成,并于2020-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种检测方法和检测设备在说明书摘要公布了:本发明提供了一种检测方法和检测设备,包括:提供检测光,所述检测光在待测物表面形成检测光斑,所述检测光经所述待测物形成信号光;探测所述待测物表面探测区内的第一信号光,所述探测区与所述检测光斑至少部分重叠,调整第一信号光的检测区域的尺寸,其中,调整第一信号光的检测区域的尺寸包括:在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时,将检测第一信号光的检测区域调整为第一尺寸,在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时,将检测第一信号光的检测区域调整为第二尺寸,在垂直于扫描方向的方向上,所述第一尺寸大于所述第二尺寸,以减小光斑内外两侧的扫描速度差异,提高检测的灵敏度。

本发明授权一种检测方法和检测设备在权利要求书中公布了:1.一种检测方法,其特征在于,包括:提供检测光,所述检测光在待测物表面形成检测光斑,所述检测光经所述待测物形成信号光;探测所述待测物表面探测区内的第一信号光,所述探测区与所述检测光斑至少部分重叠;根据对所述待测物进行检测的区域调整所述第一信号光的检测区域的尺寸;其中,调整所述第一信号光的检测区域的尺寸包括:在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时,将所述第一信号光的检测区域调整为第一尺寸,在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时,将所述第一信号光的检测区域调整为第二尺寸,在垂直于扫描方向的方向上,所述第一尺寸大于所述第二尺寸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司,其通讯地址为:518109 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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