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龙图腾网恭喜株式会社EUGENE科技申请的专利基板支持组合体及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207804B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080056395.0，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板支持组合体及基板处理装置是由李相敦;金龙基;申良湜;孙成均;金哉佑设计研发完成，并于2020-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板支持组合体及基板处理装置在说明书摘要公布了：依据本发明的一实施例，基板支持组合体包括：支持框，具有从该支持框的一表面凹入的一个以上插入孔，所述插入孔包括内侧移动孔及位于所述内侧移动孔外侧的螺纹孔；及基板支持体，包括轴主体及销轴，该轴主体的一侧插入设置于所述插入孔中，所述销轴与所述轴主体连接以接触支持基板，其中，所述轴主体包括内侧螺杆主体及连接主体，所述内侧螺杆主体在插入设置于所述插入孔中的状态下位于所述内侧移动孔中，所述连接主体设置在所述内侧螺杆主体与所述销轴之间且位于所述螺纹孔中，其中，所述螺纹孔的内径比所述内侧移动孔的直径及所述内侧螺杆主体的外径小，所述内侧螺杆主体可通过旋转穿过所述螺纹孔。

本发明授权基板支持组合体及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板支持组合体，其特征在于，包括：支持框，具有一个以上插入孔，所述插入孔包括内侧移动孔、位于所述内侧移动孔外侧的螺纹孔以及位于所述螺纹孔外侧的外侧移动孔；及基板支持体，包括轴主体及销轴，所述销轴与所述轴主体连接以接触支持基板，其中，所述轴主体包括内侧螺杆主体、连接主体以及外侧主体，所述内侧螺杆主体在插入设置于所述插入孔中的状态下位于所述内侧移动孔中，所述连接主体设置在所述内侧螺杆主体与所述销轴之间且位于所述螺纹孔中，所述外侧主体设置在所述连接主体与所述销轴之间、且位于所述外侧移动孔内，其中，所述螺纹孔的内径比所述内侧移动孔的直径及所述内侧螺杆主体的外径小，所述内侧螺杆主体可通过旋转穿过所述螺纹孔，所述螺纹孔的内径比所述外侧移动孔的直径及所述外侧主体的直径小，所述插入孔从所述支持框的一表面凹入，所述轴主体的一端能够通过所述插入孔的一个入口插入到所述插入孔内。

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