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恭喜中国科学院上海技术物理研究所郝加明获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种显微角分辨反射光相位信息表征系统及其测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111624162B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010623585.8,技术领域涉及:G01N21/25;该发明授权一种显微角分辨反射光相位信息表征系统及其测量方法是由郝加明;李晓温;俞伟伟;文政绩;周子骥;刘锋设计研发完成,并于2020-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种显微角分辨反射光相位信息表征系统及其测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种显微角分辨反射光相位信息表征系统及其测量方法,该装置分为光路1和光路2,两条光路均具有显微功能,两个样品平台前的透镜为物镜,可当作傅里叶变换器件,实现样品发出光的角度与物镜焦平面上位置的对应关系;后端14波片、检偏器对光进行调制,最后透过透镜将光汇聚到像平面。本装置可同时测量样品微区域不同入射角度条件下反射光的强度和相位信息,即可获取反射光谱的全面信息,为超构材料、光学天线、等离激元阵列等人工微纳结构以及光学薄膜、自然材料等体系提供一种实用的光谱检测技术。

本发明授权一种显微角分辨反射光相位信息表征系统及其测量方法在权利要求书中公布了:1.一种显微角分辨反射光相位信息表征系统的光相位信息测量方法,该系统包括:光源1、准直器2、起偏器3、偏振分束器4、第一14波片5、第一物镜6、第一样品台7、第一焦平面8、第二14波片9、第二物镜10、第二样品台11、第二焦平面12、第三14波片13、检偏器14、透镜15、像平面16、精密平移针孔17、光纤18、探测器19;其特征在于:从光源1出来的光首先经过准直器2与起偏器3,其次经过偏振分束器4,将光分为光路1与光路2两条光路;光路1的光经过第一14波片5,后经过第一物镜6照射在第一样品台7上,第一物镜6的焦平面为第一焦平面8,被测样品上同一反射角度的光经过第一物镜6汇聚在第一焦平面8同一点,同时经过第一14波片5后再次进入第一偏振分束器4;光路2的光经过第二14波片9,后经过第二物镜10照射在第二样品台11上,第二物镜10的焦平面为第二焦平面12,标准样件上同一角度反射的光经过第二物镜10汇聚在第二焦平面12同一点,同时经过第二14波片9后再次进入在第一偏振分束器4,汇合后的两束光同时出射依次经过第三14波片13、检偏器14、透镜15,在像平面16处成像,像平面16上的位置与测试角度一一对应,通过移动精密平移针孔17接收不同入射角度的反射光信息,最后通过光纤18被探测器19接收;该方法包括以下步骤:步骤1:固定精密平移针孔17的位置;步骤2:背景测试,第一样品台7与第二样品台11同时放入标准样件,探测检偏器14方位角分别为0度、45度、90度、135度时测试对应的四个光强:I00、I01、I02、I03;步骤3:被测样品一种偏振反射光测试,在第一样品台7上放置被测样品,第二样品台11仍放置标准样件,探测检偏器14方位角分别为0度、45度、90度、135度时测试对应的四个光强:I10、I11、I12、I13;步骤4:计算该偏振下样品此角度α度在相应偏振下反射引起的光谱变化I为:I0=I10-I00,I1=I11-I11,I2=I12-I02,I3=I13-I03步骤5:计算样品此角度α度反射引起的相位变化为: 步骤6:改变精密平移针孔17的位置,重复步骤2-步骤5测试并计算β度反射光强与相位;步骤7:步骤3中,在第一样品台7上放标准样件,第二样品台11上放被测样品,重复步骤3-步骤6测量样品另一个偏振反射光的光谱强度与相位信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海技术物理研究所,其通讯地址为:200083 上海市虹口区玉田路500号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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