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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底搬送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111383952B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911168674.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置及衬底搬送方法是由桑原丈二;金山幸司设计研发完成，并于2019-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置及衬底搬送方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置及该衬底的搬送方法。在第1ID块2设有载置台13，在第2ID块4设有载置台74。以往，仅在第1ID块2设有载具载置台。因此，在去路及返路这两条路径中，在第1ID块2与第2处理块5之间搬送衬底。根据本发明，在返路中，未将衬底移回到第1ID块2，而将衬底移回到配置在2个处理块3、5之间的第2ID块4。因此，在返路中，第1ID块2与第2ID块4之间的第1处理块3的搬送工序被削减。结果，能够提高衬底处理装置1整体的处理量。

本发明授权衬底处理装置及衬底搬送方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，且包含以下要素：多个处理块，配置成一列；第1装载块，与所述多个处理块中的一端的处理块连结，且设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的第1载具载置台；及第2装载块，配置在所述多个处理块中的至少1个一端侧的处理块与至少1个另一端侧的处理块之间，且设有用于载置所述载具的第2载具载置台；所述第1装载块从载置在所述第1载具载置台的所述载具取出衬底，并将所取出的衬底输送到所述一端侧的处理块，所述一端侧的处理块对输送来的衬底进行预先设定的处理，所述第2装载块将由所述一端侧的处理块处理后的衬底输送到所述另一端侧的处理块，所述另一端侧的处理块对输送来的衬底进行预先设定的处理，所述第2装载块将由所述另一端侧的处理块处理后的衬底移回到载置在所述第2载具载置台的所述载具，所述一端侧的处理块及所述另一端侧的处理块分别具有多个处理单元与衬底搬送机构。

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