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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113228238B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980086789.8，技术领域涉及：H01L21/304；该发明授权基板处理方法及基板处理装置是由佐佐木悠太;高桥弘明;藤原直澄;尾辻正幸;加藤雅彦;山口佑设计研发完成，并于2019-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明的基板处理方法包含：干燥前处理液供给工序，其是将升华性物质溶解于溶剂中而成的溶液即干燥前处理液供给至形成有图案的基板的上表面，而在上述基板的上述上表面形成上述干燥前处理液的液膜；析出工序，其是通过使上述溶剂自上述液膜蒸发，而使上述升华性物质的固体在上述基板的上述上表面析出；浓度判定工序，其是在上述析出工序中上述升华性物质的固体析出之前，基于通过上述溶剂的蒸发而上述液膜的厚度减少的速度即膜厚减少速度，判定上述液膜中的上述升华性物质的浓度是否为基准浓度范围内；及升华工序，其是在上述浓度判定工序中判定上述液膜中的上述升华性物质的浓度为基准浓度范围内的情形时，在上述析出工序结束后，使上述升华性物质的固体升华。

本发明授权基板处理方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，其包含：干燥前处理液供给工序，其是将升华性物质溶解于溶剂中而成的溶液即干燥前处理液供给至形成有图案的基板的上表面，而在所述基板的所述上表面形成所述干燥前处理液的液膜；析出工序，其是通过使所述溶剂自所述液膜蒸发，而使所述升华性物质的固体在所述基板的所述上表面析出；浓度判定工序，其是在所述析出工序中所述升华性物质的固体析出之前，基于通过所述溶剂的蒸发而所述液膜的厚度减少的速度即膜厚减少速度，判定所述液膜中的所述升华性物质的浓度是否为基准浓度范围内；及升华工序，其是在所述浓度判定工序中判定所述液膜中的所述升华性物质的浓度为所述基准浓度范围内的情形时，在所述析出工序结束后，使所述升华性物质的固体升华。

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