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龙图腾网恭喜深圳市原速光电科技有限公司申请的专利一种连续提供前驱体源的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110042367B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910427779.8，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种连续提供前驱体源的方法及装置是由李哲峰;安麟簇辛;陈文翰;梁立元;刘轶群设计研发完成，并于2019-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种连续提供前驱体源的方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于连续提供前驱体源装置，包括：一与反应腔连接的第一源瓶，第一源瓶至少一个；与第一源瓶连接的第二源瓶，第二源瓶至少一个；第一源瓶中盛装有前驱体源，第二源瓶中盛装的前驱体源用于提供给第一源瓶，以使第一源瓶连续地往反应腔内输送前驱体源。本发明还提供一种用于连续提供前驱体源的方法。本发明提供的装置结构简单，便于维护和使用；前驱体源可以连续不断地进到反应腔，应用该装置的ALD、CVD等气相沉积设备可以实现连续生产，产能高，满足气相设备大规模工业化连续生产的要求。

本发明授权一种连续提供前驱体源的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于连续提供前驱体源的装置，其特征在于，包括：一与反应腔连接的第一源瓶，所述第一源瓶至少一个；与所述第一源瓶连接的第二源瓶，所述第二源瓶至少一个；分别与所述第一源瓶和所述第二源瓶连接的连接部，所述连接部上设有吹扫管路的吹扫机构；分别向所述第一源瓶、第二源瓶和连接部提供热量的第一加热保护机构、第二加热保护机构和第三加热保护机构；所述第一源瓶中盛装有前驱体源，所述第二源瓶中盛装的前驱体源用于提供给所述第一源瓶，以使所述第一源瓶连续地往所述反应腔内输送前驱体源；所述第一源瓶中的前驱体源的温度至少达到第一温度T1，所述连接部的温度至少达到第二温度T2，所述第二源瓶中的前驱体源的温度至少达到第三温度T3；并且，第一温度T1≥第二温度T2≥第三温度T3，所述第一温度T1使前驱体源具有良好的挥发性。

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