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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于边缘环损耗补偿的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111466019B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880078749.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权用于边缘环损耗补偿的系统和方法是由汤姆·A·坎普;卡洛斯·利尔-韦尔杜戈设计研发完成，并于2018-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于边缘环损耗补偿的系统和方法在说明书摘要公布了：一种用于调整衬底处理系统中的边缘环的高度的控制器包含：边缘环损耗计算模块，其被配置以接收至少一个输入，其指示所述边缘环的一或更多个侵蚀速率，基于所述至少一个输入来计算所述边缘环的至少一个侵蚀速率，并且基于所述至少一个侵蚀速率来计算所述边缘环的侵蚀量。致动器控制模块被配置以基于由所述边缘环损耗计算模块所计算出的侵蚀量，调整所述边缘环的高度。

本发明授权用于边缘环损耗补偿的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于调整衬底处理系统中围绕衬底支撑件的外部部分布置的边缘环的高度的控制器，所述控制器包含：边缘环损耗计算模块；以及致动器控制模块，其中所述边缘环损耗计算模块被配置以从用户界面接收指示所述边缘环的一或更多个侵蚀速率的至少一个输入，其中所述至少一个输入包括所述衬底处理系统的各个使用时段的多个侵蚀速率，使用所述各个使用时段的所述多个侵蚀速率确定所述边缘环的至少一个侵蚀速率，监测所述边缘环的总使用量并在存储器中储存所述边缘环的所述总使用量，并且基于所确定的所述至少一个侵蚀速率和所述边缘环的所述总使用量来计算所述边缘环的侵蚀量；以及其中所述致动器控制模块被配置以基于由所述边缘环损耗计算模块所计算出的侵蚀量，调整所述边缘环的高度以补偿所计算的侵蚀量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。