恭喜朗姆研究公司普尔凯特·阿加瓦尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利增加反应器处理批量大小的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111295734B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880070970.5，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权增加反应器处理批量大小的方法和设备是由普尔凯特·阿加瓦尔;普鲁肖塔姆·库马尔;理查德·菲利普斯;阿德里安·拉沃伊设计研发完成，并于2018-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本增加反应器处理批量大小的方法和设备在说明书摘要公布了：提供了一种增加反应室批量大小的方法和使用该方法的等离子体处理设备。所述方法包含：a在所述反应室内处理批量晶片的一部分，其中所述处理导致至少一些材料靶外沉积在所述反应室的内部表面上；b执行批量中间反应室处理，以稳固累积于所述反应室的内部表面上的所述靶外沉积材料；以及c在所述反应室内处理所述批量晶片的另一部分。
本发明授权增加反应器处理批量大小的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种增加反应室批量大小的方法，所述方法包含：a在所述反应室内处理批量晶片的一部分，其中所述处理导致至少一些材料靶外沉积在所述反应室的内部表面上；b执行批量中间反应室处理，以稳固累积于所述反应室的内部表面上的所述靶外沉积材料；以及c在所述反应室内处理所述批量晶片的另一部分，其中b包括沉积膜，所述膜结合于累积在所述反应室的所述内部表面上的所述材料上。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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