恭喜上海果纳半导体技术有限公司李闯闯获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海果纳半导体技术有限公司申请的专利天车系统及其控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119361496B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411913513.1,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权天车系统及其控制方法是由李闯闯;周道;张庆;叶莹设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本天车系统及其控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种天车系统及其控制方法,天车系统包括轨道组件、存储组件、天车组件,轨道组件包括并行设置的第一轨道、第二轨道,其中,第二轨道一一对应设置在工艺机台的上方;存储组件包括与工艺机台一一对应设置的存储架,每一存储架均靠近对应的工艺机台布设并位于第一轨道的下方;天车组件包括第一天车、第二天车,第一天车位于第一轨道上,用以晶圆盒在不同的存储架之间的流转;第二天车位于第二轨道上,用以晶圆盒在对应的工艺机台与存储架之间的流转。本发明能有效解决因天车响应不及时导致的工艺机台等待时间较长的问题。
本发明授权天车系统及其控制方法在权利要求书中公布了:1.一种天车系统,其特征在于,包括轨道组件,所述轨道组件包括并行设置的第一轨道、第二轨道,其中,所述第二轨道一一对应设置在工艺机台的上方;存储组件,所述存储组件包括与所述工艺机台一一对应设置的存储架,每一所述存储架均靠近对应的所述工艺机台布设并位于所述第一轨道的下方;天车组件,所述天车组件包括第一天车、第二天车,所述第一天车位于所述第一轨道上,用以晶圆盒在不同的所述存储架之间的流转;所述第二天车位于所述第二轨道上,用以晶圆盒在对应的所述工艺机台与所述存储架之间的流转。
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