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龙图腾网恭喜四川艾庞机械科技有限公司申请的专利一种半导体硅片表面抛光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119319518B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411845126.9，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种半导体硅片表面抛光机是由周磊;蒋孟林;丁媛;郑伟;窦沛静设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体硅片表面抛光机在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体硅片生产技术领域，具体为一种半导体硅片表面抛光机，所述底座上端面固定安装有前后对称的立滑杆以及位于前后对称的立滑杆之间的支撑筒，底座上端面还设置有用于将半导体硅片连续运输至抛光空间的运输机构。该半导体硅片表面抛光机，通过设置的运输机构、固定机构和抛光机构的相互配合使用，采用上料、抛光和下料的一体化操作模型完成对半导体硅片表面的连续多次抛光，实现连续运输和逐渐精细化的抛光操作，保证每片硅片在相同条件下进行处理，从而提高硅片的表面质量和一致性，提升硅片的光滑度和整体表面质量。

本发明授权一种半导体硅片表面抛光机在权利要求书中公布了：1.一种半导体硅片表面抛光机，包括底座1，其特征在于：所述底座1上端面固定安装有前后对称的立滑杆2以及位于前后对称的立滑杆2之间的支撑筒3，底座1上端面还设置有用于将半导体硅片连续运输至抛光空间的运输机构4，前后对称的立滑杆2上共同设置有用于配合运输机构4对半导体硅片实施连续抛光的抛光机构6；所述的运输机构4包括设置在底座1上且用于对半导体硅片实施送料与出料运输的输送部42，底座1上设置有与输送部42配合的配合部43和下料部44，支撑筒3内设置有用于间歇运输半导体硅片以及为输送部42提供动力的间歇部41；间歇部41上设置有用于对半导体硅片实施夹持固定的固定机构5；所述的固定机构5包括设置在间歇部41上的夹持部51，底座1上设置有用于对夹持部51的夹持固定和解除固定实施同步调节的装卸部52；所述的抛光机构6包括前后对称的立滑杆2上共同设置的驱动部61，驱动部61上设置有用于对半导体硅片实施抛光的执行部62，驱动部61上还设置有用于改变抛光角度对半导体硅片边缘实施抛光的调角部63；所述夹持部51包括支撑圆台512；所述驱动部61包括支撑平板611、气缸612、转台613和第四电机614，前后对称的所述立滑杆2上共同滑动安装有支撑平板611，立滑杆2上固定安装有伸缩端与支撑平板611固定连接的气缸612，支撑平板611上通过设置的轴承安装有与支撑圆台512一一对应的转台613，转台613之间通过设置的第三皮带传动连接，支撑平板611上固定安装有第四电机614，第四电机614的输出端与其中一个转台613之间通过设置的第三传动齿轮组传动连接；执行部62包括伸缩杆621和抛光板622，所述转台613轴心处固定贯穿安装有伸缩杆621，伸缩杆621伸缩段的下端铰接有抛光板622，多个抛光板622的抛光数目沿支撑平板611周向依次增加；所述调角部63包括第二电动推杆631、升降圆板632、配合圆板633和铰接杆634，所述支撑平板611上端面中心处固定安装有第二电动推杆631，第二电动推杆631的伸缩端固定安装有位于支撑平板611正上方的升降圆板632，升降圆板632上通过轴承贯穿安装有与转台613一一对应的配合圆板633，配合圆板633下端与对应的伸缩杆621上端固定连接，配合圆板633下端面偏心铰接有铰接杆634，铰接杆634下端滑动贯穿转台613后铰接有连接滑块，连接滑块与抛光板622上端面滑动连接。

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