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龙图腾网恭喜德鸿半导体设备(浙江)有限公司申请的专利一种晶圆翻转室及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119297138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411822763.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆翻转室及其使用方法是由雷仲礼设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆翻转室及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆翻转室，属于半导体技术领域，包括翻转室主体、第一托盘、第二托盘，翻转室主体内底部固定安装有下托盘升降机构，翻转室主体内顶部固定安装有上托盘升降机构，翻转室主体内两侧均固定安装有旋转机构，第一托盘、第二托盘分别与下托盘升降机构、上托盘升降机构的输出端活动连接，旋转机构与第一托盘、第二托盘两侧活动连接；通过设置的第一托盘与第二托盘，对晶圆进行装载夹持，晶圆被完全夹持在托盘之间，旋转机构对第一托盘与第二托盘进行翻转，完成晶圆的翻转，晶圆表面各个部位受力均匀，在翻转时不会产生破损，有利于提高装置的实用性，提高晶圆翻转的成品率，方便进行后续对晶圆生产加工的操作。

本发明授权一种晶圆翻转室及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转室，包括翻转室主体1、第一托盘2、第二托盘3，所述第一托盘2、第二托盘3均位于所述翻转室主体1内，所述第一托盘2、第二托盘3彼此活动连接，其特征在于：所述翻转室主体1内底部固定安装有下托盘升降机构4，所述翻转室主体1内顶部固定安装有上托盘升降机构5，所述翻转室主体1内两侧均固定安装有旋转机构6，所述第一托盘2、第二托盘3分别与所述下托盘升降机构4、上托盘升降机构5的输出端活动连接，所述旋转机构6与所述第一托盘2、第二托盘3两侧活动连接；所述第一托盘2包括第一板材21，所述第一板材21顶部设有第一晶圆槽22，所述第一板材21两侧均固定安装有第一半轴23，所述第一半轴23底部均固定安装有第一提升轴24，所述第二托盘3包括第二板材31，所述第二板材31上设有第二晶圆槽32，所述第二板材31两侧均固定安装有第二半轴33，所述第二板材31两侧位于所述第二半轴33上方均固定安装有第二提升轴34。

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