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龙图腾网恭喜爱利彼半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种半导体电加热盘及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119277584B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411820578.1，技术领域涉及：H05B3/40；该发明授权一种半导体电加热盘及系统是由肖学才;张文华设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体电加热盘及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加热盘技术领域，具体是涉及一种半导体电加热盘及系统，包括底座和半导体电加热盘；在半导体电加热盘上均匀开设有多个升降槽，升降槽围绕半导体电加热盘的轴线均匀排布，并将半导体电加热盘均匀分割为多个电加热部分，每个电加热部分中都设置有一个加热丝，每个电加热部分中的电加热丝并联连接，在升降槽中沿竖直方向移动设置有支撑座，支撑座的上部固定设置有限位块，所有支撑座上的限位块构成用于放置工件的槽状结构，支撑座在其沿竖直方向移动的行程上具有最低位置。本发明能避免工件在加热工程中出现掉落的情况，同时还能保证加工完成后的工件能被顺利取下。

本发明授权一种半导体电加热盘及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体电加热盘，包括底座（1）和沿底座（1）延伸方向移动的半导体电加热盘（2）；其特征在于，在半导体电加热盘（2）上均匀开设有多个升降槽（22），升降槽（22）围绕半导体电加热盘（2）的轴线均匀排布，并将半导体电加热盘（2）均匀分割为多个电加热部分，每个电加热部分中都设置有一个加热丝（21），每个电加热部分中的电加热丝（21）并联连接，在升降槽（22）中沿竖直方向移动设置有支撑座（3），支撑座（3）的上部固定设置有限位块（31），所有支撑座（3）上的限位块（31）构成用于放置工件（4）的槽状结构，支撑座（3）在其沿竖直方向移动的行程上具有最高位置和最低位置，当支撑座（3）位于最低位置时，支撑座（3）的上端面与半导体电加热盘（2）的上端面共面，放置在槽状结构中的工件（4）下部与半导体电加热盘（2）直接接触，在加工完成后，支撑座（3）沿竖直方向上升至最高位置，工件（4）与半导体电加热盘（2）的上部脱离接触；在半导体电加热盘（2）的上部沿底座（1）的宽度方向排布有两个罩壳（25），两个罩壳（25）能沿底座（1）的宽度方向相互远离或相互靠近，当工件（4）放置在半导体电加热盘（2）上后，两个罩壳（25）相互靠近并最终相互闭合，闭合后的罩壳（25）与半导体电加热盘（2）的上部形成加热腔，在加工成后，处于闭合状态的两个罩壳（25）沿底座（1）的宽度方向相互远离。

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