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恭喜中国科学院云南天文台马琳获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院云南天文台申请的专利一种F-P标准具平行度检测校准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119268607B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411783866.4,技术领域涉及:G01B11/26;该发明授权一种F-P标准具平行度检测校准方法是由马琳;金振宇;朱瑾;常亮设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种F-P标准具平行度检测校准方法在说明书摘要公布了:本发明属于光学领域,本发明公开了一种F‑P标准具平行度检测校准方法,具体是采用带有子孔径的掩膜对法珀标准具的通光孔径进行分割,通过光谱仪同时获取法珀标准具不同区域的光谱曲线,通过比对标准具局部区域光谱曲线的相对偏移,精确测量各局部区域平板间距的差异,实现法珀标准具平行度的检测和实时校准,不需要精密的移动机构、不受光源稳定性和检测环境的影响,测量和校准精度可以达到纳米量级。

本发明授权一种F-P标准具平行度检测校准方法在权利要求书中公布了:1.一种F-P标准具平行度检测校准方法,所述F-P标准具由两块平行的平板组成,所述平板为熔石英材质,且设有通光孔径,其特征在于,具体包括如下步骤:步骤1:在法珀标准具的通光孔径上放置掩膜,掩膜边缘四周成对分布n个通光的子孔径,每个子孔径与法珀标准具的区域相匹配,且对应区域的平板间距为hn;步骤2:宽波段连续谱光源发射的光经过准直后形成准直光束,分别射入掩膜上的n个子孔径及其对应的法珀标准具区域,然后经过成像镜汇聚到焦面上;步骤3:遮挡掩膜上的子孔径,仅保留一对方向对应的子孔径通光,用光谱仪测量焦面上像点的光谱曲线;当法珀标准具的两块平板不平行时,则两个子孔径对应的平板间距hn不一致,此时两个子孔径得到两条光谱曲线;步骤4:比对上述两条光谱曲线的偏移量Δλ,Δh=hλΔλ1并根据公式1计算出两个子孔径对应的平板间距的差值Δh,h为间距,λ为波长;步骤5:两个子孔径的中心距离为L,Δθ=arctanΔhL2根据公式2及这对子孔径的方向得到法珀标准具的两块平板在此方向上的相对倾斜量Δθ;步骤6:根据平板倾斜量Δθ及倾斜方向,调整法珀标准具两块平板间的垫片,同时观察两条光谱曲线的平移情况,当两条光谱曲线完全重合时,则说明法珀标准具在此方向平行;步骤7:更换掩膜上的通光子孔径,重复步骤3到步骤6;步骤8:令掩膜上的所有子孔径都通光,当所有子孔径的光谱曲线都重合时,则法珀标准具的两块平板完全平行。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院云南天文台,其通讯地址为:650216 云南省昆明市官渡区羊方旺396号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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