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龙图腾网获悉北京云摩科技股份有限公司申请的专利一种MEMS气敏传感器、气敏性测试方法、装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118914291B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411024132.8，技术领域涉及：G01N27/04；该发明授权一种MEMS气敏传感器、气敏性测试方法、装置及系统是由廖小昊设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS气敏传感器、气敏性测试方法、装置及系统在说明书摘要公布了：本申请涉及气体测量技术领域，具体涉及一种MEMS气敏传感器、气敏性测试方法、装置及系统，该方法包括：根据湿度响应信号中所有湿度数据的离散程度、变化趋势及平均分布情况，确定湿度响应信号的第一影响因子；根据每个IMF中所有相邻子IMF的能量间的差异，以及每个IMF与湿度响应信号间的相关性确定每个IMF的第二影响因子，结合所述第一影响因子确定每个IMF的校正因子，以提高气敏传感器的气敏特性。本申请通过分析不同分量内部的差异及不同分量与环境湿度的相关性，对湿度造成的误差进行补偿，提升目标气体浓度测量的精确度。

本发明授权一种MEMS气敏传感器、气敏性测试方法、装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种MEMS气敏传感器气敏性测试方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：获取采样时长内气敏传感器的气敏响应信号及湿度传感器的湿度响应信号；根据湿度响应信号中所有湿度数据的离散程度、变化趋势及平均分布情况，确定湿度响应信号的第一影响因子；将气敏响应信号分解为多个IMF，将每个IMF等频率间隔划分为多个子IMF；根据每个IMF中所有相邻子IMF的能量间的差异，以及每个IMF与湿度响应信号的相关性确定每个IMF的第二影响因子；基于所述第一影响因子与所述第二影响因子确定每个IMF的校正因子，以对气敏响应信号进行校正；所述湿度响应信号的第一影响因子的确定方法为：将湿度响应信号等时间间隔划分为多个子信号，分析湿度响应信号中各子信号内所有湿度数据的标准差；分析湿度响应信号中所有子信号的所述标准差的累加和，记为湿度响应信号的湿度变化幅度；基于湿度响应信号中所有湿度数据的变化趋势，确定湿度响应信号的湿度变化趋势；分析湿度响应信号的湿度变化幅度与湿度变化趋势的和值，将所述和值与湿度响应信号中所有湿度数据均值的乘积结果确定为湿度响应信号的第一影响因子；所述每个IMF的第二影响因子的确定过程为：根据每个IMF中所有相邻子IMF的能量间的差异确定每个IMF的能量差异指数；每个IMF的第二影响因子为每个IMF与湿度响应之间的相关性及所述能量差异指数融合的结果；所述每个IMF的能量差异指数的确定方法为：分析每个IMF中各子IMF的能量与其前一子IMF的能量间的差异，记为每个IMF中各子IMF的第一差异；分析每个IMF中各子IMF的第一差异与其前一子IMF的能量的比值，记为每个IMF中各子IMF的第一比值；每个IMF的能量差异指数为每个IMF中所有子IMF的第一比值融合的结果；所述每个IMF的校正因子的表达式为：σj＝normS×Cj；式中，norm表示归一化函数；σj表示第j个IMF的校正因子；S表示湿度响应信号的第一影响因子；Cj表示第j个IMF的第二影响因子。

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