合肥亦威科技有限公司;合肥亦威科技有限公司无锡分公司顾佳星获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥亦威科技有限公司;合肥亦威科技有限公司无锡分公司申请的专利一种用于集成电路的三级温控系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619010U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421495920.0，技术领域涉及：G05D23/20；该实用新型一种用于集成电路的三级温控系统是由顾佳星;金鑫设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于集成电路的三级温控系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及温控系统技术领域，具体为一种用于集成电路的三级温控系统；通过三级控温系统逐步调整循环液的温度，最稳定高效的3个目标控制温度点为：第一温度传感器为目标温度SV‑1℃、第二温度传感器为目标温度SV‑0.5℃以及第三温度传感器为目标温度SV，从而能够满足半导体精密加工工艺要求中的温控需求，在20℃＜循环液实际温度≤80℃控温时，第二电子膨胀阀给压缩机吸气降温至20℃±5℃，在‑20℃≤循环液实际温度＜20℃控温时，第二电子膨胀阀关闭以防止吸气温度过低造成液击损坏压缩机；解决了现有技术中以变频压缩机为核心构成的精密温控热交换系统，其控温效果难以满足±0.01℃的要求的问题。
本实用新型一种用于集成电路的三级温控系统在权利要求书中公布了：1.一种用于集成电路的三级温控系统，包括用于向客户输出循环液的循环液系统1，循环液系统1上设置有蒸发器2，蒸发器2的出液侧设置有用于加热循环液的加热桶3，其特征在于，还包括设置在加热桶3出液侧用于加热循环液的加热丝4，和用于通过蒸发器2对循环液进行控温的制冷系统5，加热桶3和蒸发器2之间设有用于循环液温度检测的第一温度传感器6，加热丝4的进水侧和出水侧分别设置有用于循环液温度检测的第二温度传感器7和第三温度传感器8。
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