宁夏中晶半导体材料有限公司李佳琦获国家专利权
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龙图腾网获悉宁夏中晶半导体材料有限公司申请的专利一种用于单晶炉返气时的保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613541U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420659196.4，技术领域涉及：C30B27/02；该实用新型一种用于单晶炉返气时的保护装置是由李佳琦;苏波;杜瑞平;周小渊设计研发完成，并于2024-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于单晶炉返气时的保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了单晶炉技术领域的一种用于单晶炉返气时的保护装置，包括单晶炉体和炉管，所述防返气组件的内部上下两侧固定开设有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有滑杆，所述滑杆的一端固定连接有密封盘，所述密封盘设于连接块的一侧，所述密封盘的一侧固定安装有密封条，当出现真空泵故障或者管道堵塞，电路等问题时，炉管内部负压会失衡，弹簧会带动连杆和密封盘进行复位，密封盘会带动一侧的密封条进入到密封槽的内部，根据图2：可实现对连接腔的内部进行隔断的效果，阻断了左端炉管和右端炉管气体的流通，避免单晶炉体返气时杂质气体反入炉内，会造成影响晶棒品质，造成断线，污染原料导致原料报废的问题。
本实用新型一种用于单晶炉返气时的保护装置在权利要求书中公布了：1.一种用于单晶炉返气时的保护装置，包括单晶炉体1和炉管2，其特征在于：所述单晶炉体1的一侧设有炉管2，所述炉管2的表面设有防返气组件3，所述炉管2的一端设有真空泵4，所述防返气组件3的内侧设有连接腔5，所述防返气组件3的一端设有进气口6，所述进气口6的一侧设有连接块7，所述连接块7的一侧设有密封槽8，所述防返气组件3的内侧设有滑槽9，所述滑槽9的内侧设有滑杆10，所述滑杆10的一端设有密封盘11，所述密封盘11的一侧设有密封条12，所述防返气组件3的一侧设有固定架13，所述固定架13的表面设有滑孔14，所述滑孔14的内侧设有连杆15，所述连杆15的一端设有限位板16，所述连杆15的表面设有限位块17，所述连杆15的表面设有弹簧18。
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