通威微电子有限公司谢勇获国家专利权
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龙图腾网获悉通威微电子有限公司申请的专利一种坩埚用水冷旋转轴获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613546U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420644051.7，技术领域涉及：C30B35/00；该实用新型一种坩埚用水冷旋转轴是由谢勇;吕芳栋;罗鸿;陈玉玺;陈美玲;王鹏设计研发完成，并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种坩埚用水冷旋转轴在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供了一种坩埚用水冷旋转轴，涉及碳化硅技术领域。坩埚用水冷旋转轴包括旋转轴、保护套及外壳。旋转轴的一端用于与驱动件连接，驱动件用于驱动旋转轴沿自身轴线转动。保护套套设于旋转轴且与旋转轴可拆卸连接，外壳套设于保护套，外壳开设有多个沿自身轴向间隔设置的第一环形槽，第一环形槽内设置有第一密封圈，外壳、保护套及任意两个相邻第一密封圈共同限定出水冷腔，保护套能相对外壳伴随旋转轴转动。能够有效避免旋转轴的与第一密封圈相对转动导致旋转轴出现磨损的情况，在保护套磨损后，仅更换保护套即可，避免了直接更换旋转轴，从而有效的减少了成本。
本实用新型一种坩埚用水冷旋转轴在权利要求书中公布了：1.一种坩埚用水冷旋转轴，其特征在于，包括：旋转轴100，所述旋转轴100的一端用于与驱动件连接，所述驱动件用于驱动所述旋转轴100沿自身轴线转动；保护套200，所述保护套200套设于所述旋转轴100且与所述旋转轴100可拆卸连接；外壳300，所述外壳300套设于所述保护套200，所述外壳300开设有多个沿自身轴向间隔设置的第一环形槽，所述第一环形槽内设置有第一密封圈310，所述外壳300、所述保护套200及任意两个相邻所述第一密封圈310共同限定出水冷腔330，所述保护套200能相对所述外壳300伴随所述旋转轴100转动。
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