恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利检测设备和检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114234835B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010941078.9,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权检测设备和检测方法是由陈鲁;李志强;王天民;张嵩设计研发完成,并于2020-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测设备和检测方法在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种检测设备和检测方法,用于进行扫描检测,所述检测设备包括:照明光源,用于提供照明光;物镜,用于使所述照明光投射至检测面,还用于对检测面成像,所述物镜的光轴在所述检测面的投影为检测点;聚焦装置,用于在所述检测面上确定测量点,所述测量点相对于所述检测点沿扫描方向具有一偏移量;还用于根据测量点对应的检测面位置,调整物镜进行聚焦;探测装置,用于探测物镜收集的所述照明光。本发明实施例能优化聚焦性能,提高成像质量。
本发明授权检测设备和检测方法在权利要求书中公布了:1.一种检测设备,用于进行扫描检测,其特征在于,包括:照明光源,用于提供照明光;物镜,用于使所述照明光投射至检测面,还用于收集检测面返回的照明光,所述物镜的光轴在所述检测面的投影为检测点;聚焦装置,用于在所述检测面上确定测量点,所述测量点相对于所述检测点沿扫描方向具有一偏移量;还用于根据测量点对应的检测面位置,调整物镜进行聚焦;探测装置,用于探测物镜收集的所述照明光;其中,所述聚焦装置包括:自动聚焦模块,用于提供进行测距用的检测光,所述检测光经所述物镜投射在所述检测面上形成光斑;还用于基于光斑位置处的测量点获得检测面与物镜焦面的间距,执行聚焦;光路切换机构,用于使所述光斑相对于所述检测点沿扫描方向形成所述偏移量。
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