买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜奥路丝科技有限公司申请的专利套刻测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114424019B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080063499.4，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权套刻测量装置是由朴奎南;申铉基;李声洙设计研发完成，并于2020-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本套刻测量装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种套刻测量装置。更详细地，涉及一种具备使用彼此不同的波长的光源的自动对焦Autofocus系统的套刻测量装置。本发明提供一种套刻测量装置，其测量分别形成于晶圆的彼此不同的层的第一套刻标记与第二套刻标记之间的误差，所述套刻测量装置包括：第一光源，其照射第一光束；第一检测器，其获取出自所述第一光源并在所述晶圆的测量位置反射的所述第一光束的信号；第二光源，其照射波长不同于所述第一光束的第二光束；第二检测器，其获取出自所述第二光源并在所述晶圆的所述测量位置反射的所述第二光束的信号；物镜，其将所述第一光束和所述第二光束集光于所述晶圆的所述测量位置，并收集在所述测量位置反射的光束；致动器，其调节相对于所述晶圆的所述物镜的光轴方向的相对位置；控制单元，其控制所述致动器；以及高度检测单元，其基于对应于相对于所述晶圆的所述物镜的所述光轴方向的相对位置的变化的所述第一检测器的信号的变化检测所述第一套刻标记的高度，并基于对应于相对于所述晶圆的所述物镜的所述光轴方向的相对位置的变化的所述第二检测器的信号的变化检测所述第二套刻标记的高度。

本发明授权套刻测量装置在权利要求书中公布了：1.一种套刻测量装置，其测量分别形成于晶圆的彼此不同的层的第一套刻标记与第二套刻标记之间的误差，所述套刻测量装置的特征在于，包括：第一光源，其照射第一光束；第一检测器，其获取出自所述第一光源并在所述晶圆的测量位置反射的所述第一光束的信号；第二光源，其照射波长不同于所述第一光束的第二光束；第二检测器，其获取出自所述第二光源并在所述晶圆的所述测量位置反射的所述第二光束的信号；物镜，其将所述第一光束和所述第二光束集光于所述晶圆的所述测量位置，并收集在所述测量位置反射的光束；致动器，其调节相对于所述晶圆的所述物镜的光轴方向的相对位置；控制单元，其控制所述致动器；高度检测单元，其基于对应于相对于所述晶圆的所述物镜的所述光轴方向的相对位置的变化的所述第一检测器的信号的变化检测所述第一套刻标记的高度，并基于对应于相对于所述晶圆的所述物镜的所述光轴方向的相对位置的变化的所述第二检测器的信号的变化检测所述第二套刻标记的高度；第三照明，其照射用于获取所述第一套刻标记和所述第二套刻标记的图像的光束；以及第三检测器，其检测出自所述第三照明而被反射的光束以获取所述第一套刻标记和所述第二套刻标记的图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人奥路丝科技有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。