恭喜应用材料公司S·斯里瓦斯塔瓦获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于精确流体递送的热稳定的流量计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112005354B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980025326.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于精确流体递送的热稳定的流量计是由S·斯里瓦斯塔瓦;S·阿拉姆;N·S·乔拉普尔;D·R·本杰明拉吉;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯设计研发完成，并于2019-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于精确流体递送的热稳定的流量计在说明书摘要公布了：本公开内容涉及一种用于沉积腔室的流体递送设备。所述流体递送装置包括流体流量计。所述流体流量计被包围在隔热箱中。在所述隔热箱上设有进气口，用于在所述流体流量计之上提供强制冷却气流。在所述隔热箱上设有排气口，强制冷却气体从所述排气口离开所述隔热箱。
本发明授权用于精确流体递送的热稳定的流量计在权利要求书中公布了：1.一种流体递送设备，包括：流体流量计，所述流体流量计具有流体入口和流体出口，所述流体入口和流体出口配置为经由所述流体流量计发送工艺流体；隔热箱，所述隔热箱包围所述流体流量计；进气口，所述进气口耦接到所述隔热箱，所述进气口配置为在所述流体流量计的外部周围提供强制冷却气流；以及排气口，所述排气口耦接到所述隔热箱，所述强制冷却气流从所述排气口离开所述隔热箱；冷侧板，所述冷侧板传导耦接到所述流体流量计并设置在冷却器装置与所述流体流量计之间；以及热侧板，所述热侧板传导耦接到所述冷却器装置并设置在所述冷侧板的对面且在所述隔热箱的外部。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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