恭喜RF360新加坡私人有限公司T·梅茨格获国家专利权
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龙图腾网恭喜RF360新加坡私人有限公司申请的专利多个层系统、制造方法以及在多个层系统上形成的SAW设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111801890B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980016919.0,技术领域涉及:H03H3/08;该发明授权多个层系统、制造方法以及在多个层系统上形成的SAW设备是由T·梅茨格;木原善和;T·波拉德设计研发完成,并于2019-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本多个层系统、制造方法以及在多个层系统上形成的SAW设备在说明书摘要公布了:提出一种特别用于在其上形成SAW设备的层系统,该层系统包括单晶蓝宝石衬底和晶体压电层,单晶蓝宝石衬底具有第一表面,晶体压电层包括AlN,被沉积到所述第一表面上并具有第二表面。蓝宝石的晶体学R平面被用作第一表面,使得压电层的c轴的定向能够平行于第一表面和第二表面。
本发明授权多个层系统、制造方法以及在多个层系统上形成的SAW设备在权利要求书中公布了:1.一种层系统,包括:单晶蓝宝石衬底,具有第一表面;晶体的压电层,包括AlN,在所述第一表面上外延生长,并且具有背离所述第一表面的第二表面;其中所述第一表面是蓝宝石的晶体学R平面;其中所述蓝宝石衬底与所述压电层之间的外延关系如下:所述压电层的11-20平面与作为所述晶体学R平面的蓝宝石的1-102平面平行,所述压电层的平面内[1-100]方向与蓝宝石的[-1-120]方向平行,并且所述压电层的平面内[000-1]方向与蓝宝石的[1-10-1]方向平行。
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