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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利优化针对产品单元制造的工艺序列获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113741155B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111042020.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权优化针对产品单元制造的工艺序列是由J·S·维尔登贝尔格;M·乔彻姆森;E·詹森;E·J·M·沃勒博斯;C·J·瑞吉尼尔瑟;B·拉加瑟克哈兰;R·沃克曼;J·J·H·M·舒努斯设计研发完成，并于2018-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本优化针对产品单元制造的工艺序列在说明书摘要公布了：本公开涉及优化针对产品单元制造的工艺序列。一种用于优化针对产品单元制造的工艺序列的方法，该方法包括：将性能参数指纹的测量结果与记录的工艺特性上下文相关联406；获取408序列中已经对产品单元执行的先前工艺例如，沉积的特性上下文；获取410序列中要对产品单元执行的后续工艺曝光的特性上下文；通过使用所获取的特性来取回与所记录的特性相对应的性能参数指纹的测量结果，确定412与先前工艺和后续工艺的序列相关联的产品单元的预测性能参数指纹；以及基于所确定的预测性能参数，确定414，416要对序列中要对产品单元执行的未来工艺例如，曝光、蚀刻应用418的校正。

本发明授权优化针对产品单元制造的工艺序列在权利要求书中公布了：1.一种用于配置在对呈晶片形式的产品单元的处理中使用的工艺序列的方法，所述方法包括：获取所述序列中已经在一个或多个产品单元中的至少一个产品单元上执行的先前工艺的第一特性；获取所述序列中在所述至少一个产品单元上要执行的后续工艺的第二特性；由硬件计算机系统使用所获取的所述第一特性和所述第二特性，确定与使用所述后续工艺而被处理之后的所述至少一个产品单元相关联的性能参数的预测；以及基于所确定的所述预测，确定对所述序列中要用于处理所述至少一个产品单元的未来工艺的校正。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。