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龙图腾网恭喜沈阳芯达科技有限公司申请的专利一种半导体生产用化学溶液分离装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480721B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510053870.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体生产用化学溶液分离装置是由魏猛;张爽;张也设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体生产用化学溶液分离装置在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，具体为一种半导体生产用化学溶液分离装置；包括防护箱体；防护方板，安装于防护箱体内部，并将防护箱体内部分隔为上腔体和下腔体；以及分腔液离机构，用于在上腔体下腔体内使用生产芯片所需的化学溶液；所述分腔液离机构包括：两个伸缩气缸，对称连接于防护箱体的底部，且每个伸缩气缸包括一输出端，所述输出端延伸出防护箱体底部；两个位移横板，分别设置于两个伸缩气缸的输出端上；通过分腔液离机构得以避免不同种类的高腐蚀性化学溶液之间混合导致产生剧烈的化学反应，降低了半导体芯片在生产时所存在的安全隐患和风险，同时避免对周围的工作人员的身体健康造成危害，提升了半导体芯片的生产效果。

本发明授权一种半导体生产用化学溶液分离装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产用化学溶液分离装置，其特征在于：包括防护箱体（1）；防护方板（2），安装于防护箱体（1）内部，并将防护箱体（1）内部分隔为上腔体和下腔体；以及分腔液离机构，用于在上腔体下腔体内使用生产芯片所需的化学溶液；所述分腔液离机构包括：两个伸缩气缸（3），对称连接于防护箱体（1）的底部，且每个伸缩气缸（3）包括一输出端，所述输出端延伸出防护箱体（1）底部；两个位移横板（4），分别设置于两个伸缩气缸（3）的输出端上；矩形方块（5），位于防护箱体（1）底部的正中心，且在相对侧分别与两个位移横板（4）连接，使所述矩形方块（5）的中心点与两个位移横板（4）的端点处于同一直线上，将该直线作为对称轴；四个定位横块（6），分别设置于矩形方块（5）的四个折弯处；两个弧形固块（7），相对设置于所述对称轴的两侧，每个弧形固块（7）的两个端点分别与两个定位横块（6）连接；旋转件，位于防护箱体（1）的底部；所述旋转件包括：旋动圆盘（13），位于防护箱体（1）内；旋动电机（8），设置于矩形方块（5）靠近防护箱体（1）的一侧，并用于驱动旋动圆盘（13）的转动；两组随动监测单元，相对设置于矩形方块（5）的两侧，用于监测旋动电机（8）的移动状态。

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