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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119289850B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411807979.3，技术领域涉及：G01B9/02001；该发明授权基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法是由王之一;王建立;冯晓鹏;李烁;糜小涛;高胜英;江思博;周敬萱设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学检测领域，尤其涉及一种基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法，测量系统包括激光光源、测试平台、光学探测结构、分束结构、第一偏振分光结构、第二偏振分光结构、探测单元和信号处理单元；测试平台用于放置样品，样品的表面均匀附着透明微球，透明微球用于增大样品在成像时的放大倍数；激光光源输出的线偏振光依次经光学探测结构、分束结构、第一偏振分光结构、第二偏振分光结构产生相位为0°、90°、180°、270°的四路干涉信号被探测单元接收，在光电转换后传输至信号处理单元计算样品的表面高度。本发明能够通过样品表面附着的透明微球提升测量系统的横向分辨率，增强成像质量。

本发明授权基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统，其特征在于，包括激光光源、测试平台、光学探测结构、分束结构、第一偏振分光结构、第二偏振分光结构、焦前探测单元、焦后探测单元和信号处理单元；测试平台用于放置样品，样品的表面均匀附着透明微球，透明微球用于增大样品在成像时的放大倍数；激光光源用于输出线偏振光；光学探测结构包括第一偏振分光棱镜、参考平面镜、物镜和物镜驱动器，物镜驱动器用于驱动物镜沿轴向和横向移动，线偏振光经第一偏振分光棱镜变为S偏振光和P偏振光，S偏振光作为参考光经参考平面镜反射后返回第一偏振分光棱镜，P偏振光作为测量光经物镜、透明微球后入射至样品，再经样品反射后返回第一偏振分光棱镜；分束结构用于将合束后的S偏振光和P偏振光分别变为圆偏振光且每束圆偏振光被分成两束；第一偏振分光结构用于对两束圆偏振光进行分束，产生相位为0°、180°的两路干涉信号；焦前探测单元用于接收相位为0°、180°的两路干涉信号，在光电转换后传输至信号处理单元；第二偏振分光结构用于对另外两束圆偏振光进行分束，产生相位为90°、270°的两路干涉信号；焦后探测单元用于接收相位为90°、270°的两路干涉信号，在光电转换后传输至信号处理单元；信号处理单元用于对相位为0°、90°、180°、270°的四路干涉信号进行计算，获得样品的表面高度；信号处理单元包括相位提取模块、相位解包裹模块和表面高度计算模块，相位提取模块根据下式提取包裹相位： 其中，与分别为焦后干涉调制强度与焦前干涉调制强度，、、、分别为相位为0°、90°、180°、270°的四幅干涉图像中干涉条纹的光强；相位解包裹模块根据下式对包裹相位进行解包裹，获得解包裹相位： 其中，和分别为包裹相位沿样品横向与纵向的梯度，为拉普拉斯算子，为包裹相位中位于点的相位值，为包裹相位中位于点的相位值；表面高度计算模块通过下式计算样品的表面高度： 其中，为样品对应位置处的波长。

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