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恭喜中国人民解放军国防科技大学赖涛获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国人民解放军国防科技大学申请的专利NiP改性反射镜的超光滑抛光加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119217158B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411775625.5,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权NiP改性反射镜的超光滑抛光加工方法是由赖涛;徐超;彭小强;刘俊峰;胡皓;关朝亮设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

NiP改性反射镜的超光滑抛光加工方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种NiP改性反射镜的超光滑抛光加工方法,该加工方法包括:制备NiP改性层,对NiP改性层进行超精密车削加工和超光滑抛光加工,直至满足指标要求。本发明加工方法中,利用超精密车削和超光滑抛光对NiP改性反射镜毛坯工件进行加工,不仅可有效消除NiP改性反射镜毛坯工件加工过程中产生的表面缺陷,有利于提高加工效率,同时能有效抑制反射镜表面的中高频误差,进而可以显著提升加工的面形精度和表面质量,能够将NiP改性反射镜毛坯工件加工成更高质量的NiP改性反射镜,具有加工缺陷少、加工质量高、加工效率高、可重复性好等优势,对于促进NiP改性反射镜在短波长光学领域的广泛应用具有重要意义。

本发明授权NiP改性反射镜的超光滑抛光加工方法在权利要求书中公布了:1.一种NiP改性反射镜的超光滑抛光加工方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1、在反射镜基体表面制备NiP改性层,得到NiP改性反射镜毛坯工件;步骤S2、使用金刚石车刀对NiP改性反射镜毛坯工件进行超精密车削加工,得到NiP改性反射镜;所述金刚石车刀的前角为0°;所述金刚石车刀的刀尖圆弧半径为0.5mm~2mm;所述金刚石车刀的切削刃钝圆半径为20nm~50nm;所述超精密车削加工的工艺参数为:机床主轴转速为1200rpm~1600rpm,进给量为1μmr~10μmr,切削深度为1μm~5μm;步骤S3、对NiP改性反射镜进行波面干涉检测,获取NiP改性反射镜镜面的初始面形;步骤S4、根据NiP改性反射镜镜面的初始面形,利用超光滑抛光液对NiP改性反射镜进行超光滑抛光加工;所述超光滑抛光液按照质量百分含量计包含以下原料组分:抛光磨料10%~15%,氧化剂1%~3%,络合剂1%~2%,表面活性剂1%~2%,金属表面缺陷改善剂1%~2%,pH调节剂0.5%~2%,其余为水;所述金属表面缺陷改善剂为乙二醇、1,4-丁二醇中的至少一种;步骤S5、对经超光滑抛光加工后的NiP改性反射镜进行波面干涉检测和白光干涉检测,若不满足指标要求则跳转执行步骤S4,否则加工结束,完成对NiP改性反射镜的加工处理;步骤S1中,在反射镜基体表面制备NiP改性层,包括以下步骤:步骤S1-1、在反射镜基体表面制备NiP改性层;所述NiP改性层中磷的含量为9wt%~14wt%;步骤S1-2、对NiP改性层进行检测,若NiP改性层存在质量缺陷,则清除反射镜基体表面的NiP改性层,并跳转至执行步骤S1-1,直至NiP改性层的质量满足指标要求;所述NiP改性层的质量满足指标要求,包括满足以下指标:所述NiP改性层的表面无杂质、平坦光滑、均匀致密、没有孔洞、没有空隙和没有裂纹;步骤S1-2完成后,还包括以下处理:根据相关标准、反射镜基体的种类选择热处理方式,对质量满足指标要求的NiP改性层进行热处理,减少氢脆并提高结合力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国人民解放军国防科技大学,其通讯地址为:410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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