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龙图腾网恭喜南京理工大学申请的专利一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119223203B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411719297.7，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法是由袁群;侯湘楠;张佳乐;丁辰;罗聪;郭珍艳;高志山设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法，选用宽光谱扩展面光源，采用科勒照明系统提供覆盖待测视场且具有一定孔径角的均匀照明，设计两级中继系统，通过液晶空间光调制器和涡旋波片实现对全视场光束的振幅及偏振调制；结合扩展的面光源和大数值孔径显微物镜聚焦宽带环形径向偏振光，实现对样品的超分辨显微干涉成像；结合移相干涉法实现对微观结构表面的超分辨形貌测量，解决传统激光点扫描带来的效率低下问题，突破传统显微干涉形貌测量的横向分辨率限制，提升传统显微干涉测量的形貌分辨率。

本发明授权一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法，其特征在于，步骤如下：步骤1、设计两级中继系统，以产生宽带环形径向偏振光；两级中继系统包括光源1、起偏器2、第一聚光镜4、第一标准平面反射镜5、液晶空间光调制器6、第二聚光镜8、第一立方分光棱镜9、检偏器10、第三聚光镜11、涡旋波片12；第一聚光镜4和第二聚光镜8构成第一级中继镜组3；第二聚光镜8和第三聚光镜11构成第二级中继镜组7；光源1、起偏器2、第一中继镜组3、第一标准平面反射镜5、第一立方分光棱镜9、液晶空间光调制器6构成第一级中继系统；液晶空间光调制器6、第二中继镜组7、第一立方分光棱镜9、检偏器10、涡旋波片12构成第二级中继系统；共第一光轴依次设置光源1、起偏器2、第一聚光镜4、第一标准平面反射镜5，第一标准平面反射镜5的反射面与第一光轴的夹角为45°；共第二光轴依次设置液晶空间光调制器6、第二聚光镜8、第一立方分光棱镜9、检偏器10、第三聚光镜11、涡旋波片12，第一立方分光棱镜9位于第一标准平面反射镜5的反射光路上；由涡旋波片12出射宽带环形径向偏振光；步骤2、搭建基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量系统；所述基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量系统包括两级中继系统、第四聚光镜14、第五聚光镜15、第二立方分光棱镜16、第一显微物镜17、待测样品18、压电陶瓷PZT19、第二显微物镜20、第二标准平面反射镜21、管镜22、工业CCD相机23；待测样品18设置在压电陶瓷PZT19上；第四聚光镜14、第五聚光镜15、第二立方分光棱镜16、第一显微物镜17、待测样品18共第二光轴设置在涡旋波片12的后方；还有一条第三光轴通过第二立方分光棱镜16，沿第三光轴依次分布第二标准平面反射镜21、第二显微物镜20、第二立方分光棱镜16、管镜22、工业CCD相机23，且第三光轴与第二光轴垂直；第一显微物镜17、待测样品18、压电陶瓷PZT19构成测试光路，第二显微物镜20、第二标准平面反射镜21构成参考光路；第四聚光镜14、第五聚光镜15构成科勒照明镜组13；步骤3、光源1发出多视场光束，经起偏器2生成线偏振光，经第一聚光镜4会聚至第一标准平面反射镜5，再经第一标准平面反射镜5反射90°后至第一立方分光棱镜9，经第一立方分光棱镜9反射后的第一反射光经第二聚光镜8至液晶空间光调制器6，此时第一反射光为线偏振光，其偏振方向与液晶空间光调制器6的液晶光阀长边方向一致，由液晶空间光调制器6对入射的线偏振光进行中空环形调制并反射，调制出的环形光束即为第二反射光，第二反射光经第二聚光镜8至第一立方分光棱镜9，再经第一立方分光棱镜9透射后经过检偏器10，检偏器10的偏振方向与起偏器2垂直，再经第三聚光镜11会聚至涡旋波片12，由涡旋波片12对全视场光束进行偏振调制输出宽带环形径向偏振光，再经科勒照明镜组13后至第二立方分光棱镜16，第二立方分光棱镜16将光分为测试光和参考光，测试光透射至第一显微物镜17，经第一显微物镜17后照明待测样品18，待测样品18反射后的携带待测样品面型信息的第三反射光经第一显微物镜17至第二立方分光棱镜16，经第二立方分光棱镜16反射进入管镜22，管镜22将携带待测样品18面型信息的第三反射光聚焦在工业CCD相机23上；参考光被反射至第二显微物镜20，经第二显微物镜20后照明第二标准平面反射镜21，第二标准平面反射镜21反射后的携带第二标准平面反射镜面型信息的第四反射光经第二显微物镜20至第二立方分光棱镜16，经第二立方分光棱镜16透射进入管镜22，管镜22将携带第二标准平面反射镜面型信息的第四反射光聚焦在工业CCD相机23上；同时参考光和测试光发生干涉；步骤4、利用压电陶瓷PZT19控制待测样品18沿光轴方向微位移，由工业CCD相机23采集待测样品18在第一显微物镜17全视场范围内的若干幅移相干涉图；步骤5、采用垂直扫描干涉算法对采集到的若干幅移相干涉图进行处理，得到待测样品18的三维形貌信息。

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