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龙图腾网恭喜西安龙威半导体有限公司申请的专利扩散炉传片位置校准方法、扩散炉、存储介质和程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119178331B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411676574.0，技术领域涉及：F27D19/00；该发明授权扩散炉传片位置校准方法、扩散炉、存储介质和程序产品是由冯巍;王纲设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本扩散炉传片位置校准方法、扩散炉、存储介质和程序产品在说明书摘要公布了：本发明提供了一种扩散炉传片位置校准方法、扩散炉、存储介质和程序产品，该方法通过获取第一距离阈值、第二距离阈值和第三距离阈值，以及当前时刻目标晶圆的边缘上的第一边缘点和第二晶舟齿的第一端之间的距离、第二边缘点和第一晶舟齿的第一端之间的距离、第三边缘点和第三晶舟齿的第一端之间的距离；进而根据所获取的数据，确定是否有必要校准目标晶圆的位置，若有必要，则根据所获取的数据校准目标晶圆的位置，若没有，则发送第一通知消息，以通知用户更换设备，能够结合扩散炉的形变情况，合理设置传片位置校准过程，提升晶圆的安全性。

本发明授权扩散炉传片位置校准方法、扩散炉、存储介质和程序产品在权利要求书中公布了：1.一种扩散炉传片位置校准方法，其特征在于，应用于扩散炉，所述扩散炉包括：控制模块、机械手、晶舟、多个晶圆，所述晶舟内设置有多层用于承托晶圆的晶舟齿，每层晶舟齿包括等长且依次成90o夹角的第一晶舟齿、第二晶舟齿和第三晶舟齿；所述方法，包括：所述控制模块获取第一距离阈值、第二距离阈值和第三距离阈值；所述第一距离阈值和所述第二距离阈值分别为目标晶圆未掉落且未与扩散炉的晶舟发生碰撞时，所述目标晶圆的边缘上的第一边缘点与第二晶舟齿的第一端之间的最小距离和最大距离，所述第一端为晶舟齿上远离所述目标晶圆的端点，所述目标晶圆为所述机械手传送的晶圆，所述第三距离阈值为所述目标晶圆未掉落且未与所述晶舟发生碰撞时，所述机械手在所述第一晶舟齿和所述第三晶舟齿的连线方向上的最大移动距离；所述控制模块获取当前时刻所述目标晶圆的边缘上的第一边缘点和第二晶舟齿的第一端之间的距离、所述目标晶圆的边缘上的第二边缘点和第一晶舟齿的第一端之间的距离、所述目标晶圆的边缘上的第三边缘点和第三晶舟齿的第一端之间的距离，所述第一边缘点、所述第二边缘点和所述第三边缘点依次为位于所述目标晶圆的边缘上且与所述第二晶舟齿、所述第一晶舟齿和所述第三晶舟齿相对的点；所述控制模块根据所述第一边缘点和第二晶舟齿的第一端之间的距离、所述第二边缘点和第一晶舟齿的第一端之间的距离、所述第三边缘点和所述第三晶舟齿的第一端之间的距离、所述第一距离阈值、所述第二距离阈值和所述第三距离阈值，确定是否有必要校准所述目标晶圆的位置，若有必要校准所述目标晶圆的位置，则根据所述第一边缘点和第二晶舟齿的第一端之间的距离、所述第二边缘点和第一晶舟齿的第一端之间的距离、所述第三边缘点和所述第三晶舟齿的第一端之间的距离、所述第一距离阈值、所述第二距离阈值和所述第三距离阈值，校准所述目标晶圆的位置，若没有必要校准所述目标晶圆的位置，则发送第一通知消息，以通知用户更换设备。

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