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龙图腾网恭喜武汉大学申请的专利高压电性能钒掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119144932B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411650824.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权高压电性能钒掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法是由佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇;曾晓梅设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本高压电性能钒掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高压电性能钒掺杂LiNbO3压电涂层及其制备方法，涉及铌酸锂涂层及传感器技术领域。涂层的制备方法包括设计钒掺杂铌酸锂靶材；清洁衬底和磁控溅射设备；在磁控溅射设备中安装靶材和衬底；对磁控溅射设备抽真空至理想真空度，并加热至目标温度；设置环境参数，对靶材的表面进行清洗；完成靶材的清洗后，将衬底的正面和靶材的表面设置成相对状态并调节间距，设置环境参数进行沉积，制得钒掺杂LiNbO3压电涂层；靶材为掺杂钒的铌酸锂靶材，钒掺杂的原子数量占比为1.3‑3.9%。采用本发明的方法制备的钒掺杂LiNbO3压电涂层具有明显的柱状晶结构，并且不含NbO、Nb2O5、LiNb3O8等杂质相，ONb原子比达到2.9，接近理想形态；相比于纯铌酸锂晶体涂层压电常数高，并具有极强的超声信号，且耐温性能优良。

本发明授权高压电性能钒掺杂LiNbO₃压电涂层及其制备方法在权利要求书中公布了：1.高压电性能钒掺杂LiNbO3压电涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：设计钒掺杂铌酸锂靶材；清洁衬底和磁控溅射设备；在所述磁控溅射设备中安装所述钒掺杂铌酸锂靶材和衬底，将所述衬底的正面和所述钒掺杂铌酸锂靶材的表面设置成非相对状态；对所述磁控溅射设备抽真空至理想真空度，并加热至目标温度；设置环境参数，对所述钒掺杂铌酸锂靶材的表面进行清洗；完成所述钒掺杂铌酸锂靶材的清洗后，将所述衬底的正面和所述钒掺杂铌酸锂靶材的表面设置成相对状态并调节间距为4.5-7cm，设置环境参数进行沉积，制得钒掺杂LiNbO3压电涂层；所述钒掺杂铌酸锂靶材为掺杂钒的铌酸锂靶材，钒的掺杂原子数量占比为2.4-3.9%；设置环境参数包括引入Ar气和O2气并控制通入流量，引入的Ar气和O2气的流量体积比为4-6:1，Ar气和O2气的总流量为0.9-2.0Pa；设置射频功率为800-900W，偏置电压为7-27V。

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