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龙图腾网恭喜法博思(宁波)半导体设备有限公司申请的专利斐索干涉仪及干涉测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119164283B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411649564.8，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权斐索干涉仪及干涉测量系统是由宋金龙;董磊;张海设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本斐索干涉仪及干涉测量系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种斐索干涉仪及干涉测量系统，涉及激光相干技术领域，该斐索干涉仪包括沿光的传播方向依次设置的激光器、偏振分光棱镜、准直镜、参考镜和测试镜，还包括成像系统；偏振分光棱镜与参考镜之间设置有四分之一波片，四分之一波片倾斜设置。该斐索干涉仪采用了偏振分光棱镜和四分之一波片，偏振分光棱镜具有对P偏振光S偏振光的截光能力，可以消除分光棱镜本身产生的杂光，四分之一波片的倾斜设置可以减少四分之一波片本身产生的杂光，因此，该斐索干涉仪降低了杂光的影响。

本发明授权斐索干涉仪及干涉测量系统在权利要求书中公布了：1.一种斐索干涉仪，其特征在于，包括沿光的传播方向依次设置的激光器、偏振分光棱镜、准直镜、参考镜和测试镜，还包括成像系统；所述准直镜与所述参考镜之间设置有四分之一波片，所述四分之一波片倾斜设置，以减少所述四分之一波片本身产生的杂光；所述激光器发出的激光经过所述偏振分光棱镜后变为第一偏振光，所述第一偏振光经过所述准直镜和所述四分之一波片后入射到所述参考镜上；入射到所述参考镜上的一部分偏振光被所述参考镜反射，再经过所述四分之一波片和所述准直镜后，被所述偏振分光棱镜反射进入所述成像系统，形成基准参考光；入射到所述参考镜上的另一部分偏振光穿过所述参考镜后入射到所述测试镜上，被所述测试镜反射，再经过所述参考镜、所述四分之一波片和所述准直镜后，被所述偏振分光棱镜反射进入所述成像系统，形成测试光；当所述激光器发出的激光从所述偏振分光棱镜的第一面进入后，所述激光中的第一偏振光被所述偏振分光棱镜的分光面透射，所述激光中的第二偏振光被所述分光面反射，其中，所述第一偏振光为P偏振光且所述第二偏振光为S偏振光，或者，所述第一偏振光为S偏振光且所述第二偏振光为P偏振光；被透射的所述第一偏振光入射到所述偏振分光棱镜的第二面后，所述第一偏振光的部分光被所述第二面反射回所述分光面，此时所述第一偏振光的该部分光不再被所述分光面反射到所述成像系统中，而是被所述分光面透射，以实现所述第一偏振光的杂光抑制；被反射的所述第二偏振光入射到所述偏振分光棱镜的第三面后，所述第二偏振光的部分光被所述第三面反射回所述分光面，此时所述第二偏振光的该部分光不再透过所述分光面进入所述成像系统中，而是被所述分光面反射，以实现所述第二偏振光的杂光抑制。

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