恭喜常州正宇光伏科技有限公司黄辉巍获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州正宇光伏科技有限公司申请的专利一种背面poly减薄的n-TOPCon电池的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119153583B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411492810.3,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权一种背面poly减薄的n-TOPCon电池的制备方法是由黄辉巍;杜庆晖;刘斌设计研发完成,并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种背面poly减薄的n-TOPCon电池的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于太阳能电池技术领域,具体涉及一种背面poly减薄的n‑TOPCon电池的制备方法。其技术要点如下:在背面采用PECVD法制备包含隧穿氧化钝化结构的叠层结构,退火后得到的叠层结构为:第一SiOx第一poly‑Sin+第二SiOx第二poly‑Sin+PSG;采用激光器作用于非接触区域的PSG,使非接触区域的PSG疏松,出现孔隙,形成疏松PSG;采用碱洗,使碱液通过疏松PSG的孔隙将非接触区的第二poly‑Sin+和第二SiOx同时去除。达到减薄n‑TOPCon电池背面的目的,同时保留接触区域的poly‑Si,降低电池的烧穿风险,提高电池效率。
本发明授权一种背面poly减薄的n-TOPCon电池的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种背面poly减薄的n-TOPCon电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:采用N型硅片,双面制绒,形成表面陷光的金字塔结构;在正面进行B扩散,形成PN结;在背面采用HF清洗,去除背面及四周的BSG,采用碱抛光,去除B绕扩;在背面采用PECVD法制备包含隧穿氧化钝化结构的叠层结构,退火后得到的叠层结构自下到上依次为:第一SiOx第一poly-Sin+第二SiOx第二poly-Sin+PSG;采用激光器作用于背面非接触区域的PSG,使非接触区域的PSG疏松,出现孔隙,形成疏松PSG;采用链式HF清洗,去除正面和侧面绕镀的PSG,并暴露出绕镀下的多晶硅层;采用碱洗,去除正面及侧面的绕镀下的多晶硅层,同时使碱液通过疏松PSG的孔隙将非接触区的第二poly-Sin+和第二SiOx同时去除;在正面和或背面,采用氧化铝钝化,形成氧化铝层;在正面和或背面做氮化硅钝化,形成SiNx膜;正面和背面分别丝网印刷形成主栅线和副栅线,烧结形成欧姆接触,光注入提高钝化和光衰,LECO激光增强钝化接触性能;其中,在碱洗过程中,碱液的浓度根据以下公式确定: ;其中,d1是绕镀的多晶硅层的厚度,单位是nm;d2是第二poly-Sin+和SiOx层的厚度,单位是nm;k1和k2分别是绕镀的多晶硅层和第二poly-Sin+和SiOx层的清洗速率常数,单位是nmmin;C是碱液浓度,单位是%;所述疏松PSG的孔隙率是5%~15%;其中,微孔的孔隙率占比5~20%;微孔的孔隙率占比通过激光器的光斑重叠率控制;光斑重叠率的计算公式如下: ;其中,O是光斑重叠率,单位是1;β是激光作用常数,单位是1;θ是微孔的孔隙率占比,单位是1。
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