深圳市奥伦德元器件有限公司陈景辉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市奥伦德元器件有限公司申请的专利一种基于镓铝砷外延合金及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118745572B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410883945.6,技术领域涉及:C23C28/00;该发明授权一种基于镓铝砷外延合金及其制备方法是由陈景辉;邱晨;林士修;吴质朴设计研发完成,并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于镓铝砷外延合金及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于镓铝砷外延合金及其制备方法,包括:镓铝砷外延层;第一氧化层,第一氧化层包括多个经一次光刻形成的第一窗口和第一凸块,第一窗口与所述第一凸块间隔分布;第一金属层;第二氧化层,第二氧化层包括多个经二次光刻形成的第二窗口和第二凸块,第二窗口与所述第二凸块间隔分布,第一窗口与第二窗口的垂直方向上错位排列;第二金属层。基于镓铝砷外延合金通过高致密性的氧化层去改善镓铝砷外延与金属层接触的合金方法,具有优良的金属与镓铝砷材料键合性能,改善金属层与外延层之间的欧姆接触,降低电极脱落的风险。
本发明授权一种基于镓铝砷外延合金及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于镓铝砷外延合金,其特征在于,包括:镓铝砷外延层(100);第一氧化层(200),所述第一氧化层(200)设置在所述镓铝砷外延层(100)的上方,所述第一氧化层(200)包括多个经一次光刻形成的第一窗口(210)和第一凸块(220),所述第一窗口(210)与所述第一凸块(220)间隔分布;第一金属层(300),所述第一金属层(300)设置在所述第一氧化层(200)的上方;所述第一金属层(300)包括金铍合金和金,金铍合金和金依次通过蒸镀的方式层叠在所述第一氧化层(200)的上方;所述第一金属层(300)中金铍合金的厚度为100-800埃米,所述第一金属层(300)中金厚度为3000-8000埃米;第二氧化层(400),所述第二氧化层(400)设置在所述第一金属层(300)的上方,所述第二氧化层(400)包括多个经二次光刻形成的第二窗口(410)和第二凸块(420),所述第二窗口(410)与所述第二凸块(420)间隔分布,所述第一窗口(210)与所述第二窗口(410)的垂直方向上错位排列;第二金属层(500),所述第二金属层(500)设置在所述第一氧化层(200)的上方;所述第二金属层(500)包括钛和金,钛和金依次通过蒸镀的方式层叠在所述第二氧化层(400)的上方;所述第二金属层(500)中钛的厚度为100-500埃米,所述第二金属层(500)中金的厚度为5000-10000埃米。
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