中芯北方集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司周阳获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯北方集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种氮封系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222634351U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421469787.1，技术领域涉及：F17D1/02；该实用新型一种氮封系统是由周阳设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氮封系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种氮封系统，包括：储液装置，用于储存液体，所述储液装置的空腔被氮气封闭；氮封罐，所述氮封罐包括：罐体；氮气管，所述氮气管从所述罐体的顶部延伸至所述罐体底部；位于所述罐体底端的液封区，所述液封区的液面被配置为高于所述氮气管的底端；以及进液管路，与所述罐体连接，用于向所述氮封罐内通入液体，且所述进液管路设置有进液阀；液面监测器，用于监测所述液封区的液面高度，并在所述液面高度低于预设液面高度时发出液面高度异常信号；以及控制器，所述控制器与所述液面监测装置以及所述进液阀电连接，用于接收所述液面高度异常信号并控制所述进液阀的开启和关闭。本申请提供的氮封系统可以减小空气进入氮封装置的概率。
本实用新型一种氮封系统在权利要求书中公布了：1.一种氮封系统，其特征在于，包括：储液装置，用于储存液体，所述储液装置的空腔被氮气封闭，在所述储液装置的液面超出设定值时，氮气从所述储液装置排出；氮封罐，所述氮封罐包括：罐体；氮气管，所述氮气管从所述罐体的顶部延伸至所述罐体底部，用于接收从储液装置排出的氮气；位于所述罐体底端的液封区，所述液封区的液面被配置为高于所述氮气管的底端；以及进液管路，与所述罐体连接，用于向所述氮封罐内通入液体，且所述进液管路设置有进液阀；液面监测器，用于监测所述液封区的液面高度，并在所述液面高度低于预设液面高度时发出液面高度异常信号；以及控制器，所述控制器与所述液面监测装置以及所述进液阀电连接，用于接收所述液面高度异常信号并控制所述进液阀的开启和关闭。
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