复远芯(上海)科技有限公司吴志鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉复远芯(上海)科技有限公司申请的专利压电谐振式压力传感器及补偿系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222635654U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421474864.2，技术领域涉及：G01L1/16；该实用新型压电谐振式压力传感器及补偿系统是由吴志鹏;王锦瑜设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电谐振式压力传感器及补偿系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种压电谐振式压力传感器及补偿系统，涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造技术领域。压电谐振式压力传感器包括压电组件、谐振薄膜以及压力谐振组件。谐振薄膜设于压电组件的一侧且谐振薄膜与压电组件连接。压力谐振组件设于谐振薄膜的一侧且与谐振薄膜连接，压力谐振组件朝向谐振薄膜的一侧设置有谐振凹槽，且谐振凹槽与谐振薄膜配合形成谐振腔，压力谐振组件背离谐振薄膜的一侧设有压力腔。其中，沿谐振薄膜至压力谐振组件的方向，谐振腔的投影至少部分落入压力腔的投影范围内。根据本申请示例提供的压电谐振式压力传感器，可以扩大压电谐振式压力传感器测量压力的范围，进而扩大压电谐振式压力传感器的使用范围。
本实用新型压电谐振式压力传感器及补偿系统在权利要求书中公布了：1.一种压电谐振式压力传感器，应用于电子核心产业，其特征在于，包括：压电组件，直接或间接地与外接电路连接；谐振薄膜，设于所述压电组件的一侧，且所述谐振薄膜与所述压电组件直接或间接地连接；压力谐振组件，设于所述谐振薄膜的一侧且与所述谐振薄膜连接，所述压力谐振组件朝向所述谐振薄膜的一侧设置有谐振凹槽，所述谐振薄膜设于所述谐振凹槽的开口，且所述谐振凹槽与所述谐振薄膜配合形成谐振腔，所述压力谐振组件背离所述谐振薄膜的一侧设有压力腔，所述谐振凹槽与所述压力腔之间设有压力敏感薄膜，所述压力腔用于接收待检测压力；其中，沿所述谐振薄膜至所述压力谐振组件的方向，所述谐振腔的投影至少部分落入所述压力腔的投影范围内。
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